AMAT, 원자 수준의 정밀도 보장하는 식각장비 공개

반도체 디스플레이 장비 업체인 어플라이드머티리얼즈는 원자 수준(Atomic Level)의 정밀 공정을 위한 새로운 챔버를 탑재한 식각장비 ‘센트리스 Sym3’를 14일 공개했다.

이 제품은 반도체 칩 제작사들이 반도체 칩 내의 편차를 극복하면서 차세대 메모리와 로직 칩에 필요한 고밀도의 3차원 구조 및 패턴을 제작하기 위해 필요한 제어 정밀성을 지원한다.

또 공정의 균일성을 담보하기 위해 다수의 튜닝 제어와 고유 기술인 트루 시미트리를 적용, 균일성을 해치는 식각 부산물을 제거해준다. 패턴 라인의 거친 부분 등의 문제를 극복하기 위해 식각 부산물이 재증착되는 것도 줄여준다.

어플라이드머티리얼즈 센트리스 Sym3 [사진=어플라이드머티리얼즈]

여기에 이온 에너지와 입사각 분포 제어가 가능한 최신 RF 기술을 적용해 높은 종횡비를 가진 3D 구조의 식각 능력도 제공, 보다 다층적인 제품개발도 가능하게 해준다.

센트리스 Sym3는 여섯 개의 식각 챔버와 두 개의 플라즈마 세정 챔버로 구성됐으며, 각 챔버마다 공정 정확성을 확인하는 정보처리 소프트웨어를 탑재해 높은 생산성과 재현성을 구현한다.

라만 아추타라만 어플라이드머티리얼즈 식각사업부 총괄 부사장은 “’센트리스 Sym3’ 장비는 정밀재료공학인 식각 분야에서 쌓아온 20년 이상의 전문 지식을 바탕으로 지속적인 업계의 과제를 해결하기 위해 완전히 새로운 설계로 만들어졌다”며 “고객사들이 최첨단 팹(Fab)에서 역대 가장 빠른 속도로 채택하고 있는 식각 장비”라고 설명했다.