어플라이드, 3D낸드·핀펫 계량측정 장비 발표

어플라이드머티어리얼즈는 24일 3D 낸드와 핀펫 디바이스의 높은 단차와 복잡한 기능 측정에 대한 문제를 해결할 수 있는 인라인 3D 임계치수 주사전자현미경(CD SEM, Critical Dimension Scanning Electron Microscope) ‘베리티SEM 5i’를 발표했다.

베리티SEM 5i는 고해상도 이미징과 뛰어난 임계치수 제어 인라인을 할 수 있는 후방산란전자(BSE) 기술을 제공한다.

어플라이드머티어리얼즈는 이 제품을 사용하는 칩 제조사들은 공정 개발 및 생산 램프의 속도를 향상시킬 수 있으며, 디바이스의 성능과 대량생산 수율을 개선할 수 있다고 설명했다.

베리티SEM 5i의 고해상도 주사전자현미경 컬럼 및 경사진 빔과 BSE 이미징은 핀펫과 3D낸드 구조의 인라인을 측정하고 모니터링을 할 수 있는 업계 유일한 3D 계측기술을 제공한다.

특히 ‘비아 인 트렌치’ 하단의 임계치수를 위한 BSE 이미징은 칩 제조사들이 하부레이어와 상부레이어 금속층 사이의 연결을 확실히 하도록 해준다.

또한 아주 작은 오차도 기기 성능과 수율에 영향을 주는 핀펫의 측면 뿐만 아니라 게이트와 핀의 높이를 제어하기 위해 ‘베리티SEM 5i’의 경사진 빔은 인라인 측정의 정확성과 반복성을 제공한다.

고해상도 BSE 이미징은 60:1 이상의 높은 단차비에 도달함으로써 3D 낸드 디바이스의 비대칭 측면 및 하단의 임계치수를 측정하기 위해 개선된 감도를 통해 수직 스케일링을 지속할 수 있도록 한다.