안승욱 티로보틱스 대표 "유리기판용 로봇 개발...韓 이어 中 시장 공략"

"한국 장비사와 평가 진행 중…중국 기업과도 협력 추진"

[선전(중국)=장경윤 기자] "티로보틱스는 유리기판 제조용 대기·진공 로봇을 개발해, 현재 국내 반도체 시장에서 평가를 진행하고 있습니다. 중국 역시 디스플레이 분야에서 쌓아온 협력 관계를 기반으로 시장 진출을 추진 중입니다."

안승욱 티로보틱스 대표는 28일 중국 선전에서 열린 '2026 국제 선전 C-터치 & 디스플레이(C-TOUCH & DISPLAY SHENZHEN 2026)'에서 기자들과 만나 이같이 밝혔다.

티로보틱스가 '2026 선전 국제터치 & 디스플레이 전시회'에서 전시한 유리기판 이송용 진공로봇(사진=지디넷코리아)

티로보틱스는 스마트팩토리에 쓰이는 자율주행 물류로봇, 반도체·디스플레이용 진공로봇 및 진공이송모듈을 개발하는 기업이다. 최근에는 회사의 신성장동력 확보차원에서 유리기판 시장 진출을 추진하고 있다. 유리기판은 기존 유기 소재 기판 대비 전력 효율성이 높아, 차세대 반도체 패키징 소재로 각광받고 있다.

이날 티로보틱스가 유리기판 고객사 확보를 위해 선보인 제품은 이중 평행링크 로봇암 기반의 진공로봇, 비접촉 대기로봇 2종이다.

안 대표는 "구체적으로 말씀드릴 수는 없으나, 진공 및 대기 로봇을 결합해 국내 주요 반도체 장비 업체들과 평가를 진행 중"이라며 "기존 디스플레이 분야에서 BOE·CSOT·티엔마 등과도 거래 관계를 쌓아온 만큼, 중국 유리기판 고객사들과의 협력도 추진할 것"이라고 말했다.

안승욱 티로보틱스 대표(가운데)와 임재하 SCM사업총괄(좌측), 이규복 중국법인장과 기념사진을 촬영하고 있다. (사진=지디넷코리아)

티로보틱스의 진공로봇은 회전 가능한 평행링크 주행 구조를 통해 단일 챔버 안에서 여러 방향으로 기판을 이송할 수 있는 멀티 핸들링 기능을 갖췄다. 기본 하중은 20kg, 정밀도는 약 ±0.3㎜(마이크로미터) 수준이다.

비접촉 대기로봇은 기기와 기판 사이에 공기를 주입해 약 0.2㎜ 간격으로 기판을 띄우는 에어 플로팅 방식을 적용했다. 로봇이 유리기판에 직접 닿지 않아 공정 상에서 스크래치, 오염이 발생하는 상황을 줄일 수 있다.

안 대표는 "기존 반도체 웨이퍼는 매우 가볍지만, 대형 유리기판은 무게가 10kg가 넘어가기 때문에 고하중을 견딜 수 있는 로봇 기술이 있어야 한다"며 "티로보틱스는 관련 기술을 확보해 일본, 미국, 중국 등에 특허 등록을 다 마친 상황"이라고 강조했다.