'램리서치와 특허분쟁' 월덱스 "반도체 고객, 원가절감 중요...애프터마켓 업체 써야"

램리서치와 반도체 식각 공정 부품 특허분쟁 중인 월덱스가 "모든 반도체 고객은 원가절감이 중요하기 때문에, 애프터마켓 업체 부품을 써야 한다"며 "유독 램리서치만 특허분쟁에 많이 휘말린다"고 밝혔다.

배종식 월덱스 대표는 17일 구미에서 개최한 임시주주총회에서 나온 '램리서치 상대 특허분쟁이 사업에 미칠 영향은 얼마나 되느냐, 특허분쟁은 이길 수 있느냐'는 질문에, "임시주총 상정 안건과는 무관한 내용"이라면서도 이처럼 말했다.

월덱스는 램리서치 특허 2건을 상대로 특허심판원과 특허법원 등에서 무효분쟁 중이다. 램리서치 특허 '무선주파수 접지 복귀 장치들'(등록번호 2285582, 아래 '582 특허)에 대해선 특허심판원이 2025년 12월 무효라고 판단(심결)했다. 램리서치는 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 램리서치의 또 다른 특허 '플라즈마 프로세싱을 위한 가변하는 두께를 갖는 상부전극'(등록번호 2556016)에 대한 특허심판원 무효심판은 아직 심리 중이다.

배종식 대표는 "램리서치 상대 특허분쟁은 민감한 사안"이라면서도 "반도체 시장에서 유독 램리서치만 특허분쟁에 많이 휘말린다"고 밝혔다. 그는 "근본 이유는 장비업체(램리서치)가 (식각장비) 소모품을 독점하려는 데 있다"며 "(소모품 시장은) 비포마켓과 애프터마켓으로 나뉘는데, 이를 (비포마켓 업체인 램리서치가) 독점하려고 한다"고 설명했다.

배 대표는 "현재 모든 반도체 업체가 원가절감에 혈안이 돼 있다"고 말했다. 그는 "장비업체가 외주 생산하는 소모성 부품을 '주문자상표부착생산(OEM) 파츠'라고 하는데, 단가가 비싸다"며 "장비업체는 자신들이 만든 장비 프로세스(공정)에 맞는 (소모성 부품) 사양을 장점으로 내세우지만 현재 기술 수준이 보편화돼서 (장비업체가) 우선권을 누리기 어렵다"고 주장했다. 이어 "고객(반도체 업체)이 원가절감을 위해 노력 중이어서 애프터마켓 (업체 부품을 사용하는 것) 외에는 길이 없다"고 덧붙였다.

배종식 대표는 "현재 국내에서 월덱스와 3~4곳이 공동으로 분쟁을 치르고 있다"며 "1심(특허심판원)에서 저희가 승소했다"고 밝혔다. 그는 "과거였으면 1심에서 패소하면 항소를 포기했는데, 이번에는 (램리서치가) 포기하지 않고 (심결취소소송을 제기해 사건이) 특허법원에 올라갔다"고 부연했다. 이어 "(대법원) 상고심까지 가더라도 (월덱스) 사업에 미칠 영향은 미미할 것"이라고 전망했다.

국내 반도체 공정 부품업체가 램리서치를 상대로 특허심판원에 청구한 심판 (자료: 키프리스 / 정리: 지디넷코리아)

배 대표가 특허심판원에서 이겼다고 말한 램리서치 특허는 '582 특허다. '582 특허에 대한 무효심판은 월덱스와 SHM(옛 원세미콘), CMTX(씨엠티엑스) 등이 각기 다른 시기에 청구했지만 사건이 병합됐다. 특허심판원은 2025년 12월 '582 특허가 무효라고 심결했고, 램리서치가 특허법원에 심결취소소송을 제기했기 때문에 아직 끝나진 않았다.

월덱스는 임시주총에서 정관 사업목적을 추가했다. 추가한 내용은 '유기·유무기 혼합소재 제조와 가공과 도소매', '유기·무기화합물 제조와 도소매' 등이다. 월덱스는 "실리콘 파츠 사업 경쟁력 강화를 위해 식각 공정용 실리콘 파츠 수명 개선과 화학·세라믹 소재를 활용한 코팅 공정 확대에 대응하겠다"며 "허가범위 내 사용물질과 코팅 원료 활용, 공정 도입을 위한 활동을 사업목적에 추가했다"고 설명했다. 이사 보수한도는 70억원에서 40억원으로 낮췄다. 사내이사와 사외이사는 2025년 대비 각각 1명씩 늘었다.