PSK, 램리서치 특허 1건 추가 무효화...침해소송서 취하된 특허

특허심판원, 3일 무효심판 환송사건서 무효 판단

PSK(피에스케이)가 램리서치의 베벨 에처 특허 1건에 대해 추가로 무효 판단을 받았다. 해당 특허는 지난 8월 특허침해소송 변론기일에서 램리서치가 침해 주장을 철회한 특허다. 전체 분쟁에 미칠 영향은 미미하다. 

베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발해 SK하이닉스에 공급했다고 밝히자, 램리서치는 PSK를 상대로 특허침해소송을 제기했다. PSK는 무효분쟁으로 대응했다. 

5일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 3일 램리서치의 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치' 특허(등록번호 1468221, 아래 '221 특허) 무효심판 환송사건에서 '221 특허가 무효라고 판단(심결)했다. '221 특허 청구항(권리범위) 4~23항이 무효라는 PSK 주장을 특허심판원이 모두 받아들였다. 

베벨에처 (자료=PSK)

'221 특허가 무효라는 특허심판원 심결은 아직 최종 확정되지 않았지만, 결과가 바뀌어도 전체 분쟁에 미칠 영향은 미미하다. 지난 8월 서울중앙지방법원에서 열린 특허침해소송 변론기일에서 램리서치가 '221 특허침해 주장을 취하했기 때문이다. 

'221 특허도 램리서치가 PSK를 압박했던 무기였지만 지난 2024년 8월 특허법원이 무효라고 판결했다. 앞서 2023년 2월 유효라고 판단한 특허심판원 심결을 특허법원이 취소했다. 이후 2024년 10월 특허심판원에 무효심판 환송사건이 접수됐고, 이번에 무효 판단이 나왔다. 

그 사이 램리서치는 '221 특허 정정을 시도했지만 특허심판원이 2026년 8월 기각했다. 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 클 때 특허권자가 청구하는 절차다.

지난 8월 서울중앙지법에서 열린 침해소송 변론기일에서 램리서치가 '221 특허침해 주장을 철회하면서 해당 소송 쟁점 특허는 '플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247, 아래 '247 특허) 1건만 남았다. 

'247 특허의 특허권자는 참엔지니어링이고, 램리서치는 독점사용권(전용실시권)을 보유하고 있다. 특허침해소송에선 특허 1건, 청구항 1개항만 침해가 입증돼도 특허권자가 이긴다. 

'247 특허는 반도체 웨이퍼 테두리 부분만 플라스마로 정밀하게 깎는 장비(챔버) 구조를 설명한 기술이다. 장비 안에는 웨이퍼 제어를 위해 가운데에는 절연 패널이, 테두리에는 패널 링이 들어간다. 

절연 패널은 웨이퍼 중앙에 위치해 플라스마가 생기는 것을 억제하고, 패널 링은 퍼져 있는 플라스마를 웨이퍼 가장자리 쪽으로 유도한다. 패널 링은 절연 패널 바깥쪽 테두리에 끼웠다 뺐다 할 수 있는 고리 모양 부품이다. 중앙 패널과 테두리 링은 서로 유전율이 다를 수 있고, 웨이퍼 가장자리로 향하는 플라스마 밀도·흐름을 조절할 수 있다.

양측이 서울중앙지법에서 다투고 있는 '247 특허를 제외한 나머지 특허 5건 무효분쟁에선 PSK가 모두 이겼다. PSK는 지난 2021~2022년 램리서치 특허 4건, 그리고 램리서치가 전용실시권을 보유한 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 무효분쟁을 시작했다. PSK는 참엔지니어링의 또 다른 특허 1건(등록번호 1433769), 그리고 램리서치 특허 4건(등록번호 1441720·1265827·1433411·1468221) 등 5건을 무효로 만들었다. '247 특허에 대해선 지난 2024년 대법원이 유효하다고 판결했다.