PSK, 램리서치 베벨에처 특허 1건 무효화...램리서치, 또다른 특허 정정 실패

PSK, 특허무효분쟁서 우위...'램리서치 독점사용' 특허 1건 살아남아

피에스케이(PSK)가 램리서치의 특허 '갭이 제어되는 베벨 에처' 특허(등록번호 1433411, 아래 '411 특허) 무효화에 성공한 것으로 5일 파악됐다. 지난 6월 특허법원이 '411 특허가 무효라고 판결한 뒤 램리서치가 대법원에 상고하지 않으면서 특허법원 판결이 지난 7월 하순 확정됐다. 

램리서치는 앞서 특허심판원에 '411 특허 정정심판도 청구했지만 특허심판원에 이어 특허법원, 대법원 모두 램리서치 주장을 받아들이지 않았다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가 청구하는 절차다.

램리서치는 또 다른 자사 특허 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치'(등록번호 1468221, 아래 '221 특허)에 대해 특허심판원에 접수한 정정심판 청구도 지난 3일 기각됐다. 램리서치가 특허심판원 판단(심결)에 불복할 경우 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있다.

하지만 램리서치의 '221 특허 무효분쟁에서도 PSK가 우위를 점하고 있다. 지난 2023년 2월 특허심판원은 '221 특허가 유효라고 판단했지만, 2024년 8월 특허법원이 이를 뒤집고 무효라고 판단하고 사건을 2024년 10월 특허심판원으로 환송했다. 

특허법원이 2024년 8월 '221 특허가 무효라고 판단하자, 램리서치가 다음달인 2024년 9월 특허심판원에 정정심판을 청구했던 것인데 일단 무위로 돌아갔다. 

베벨에처 (자료=PSK)

이로써 PSK가 램리서치를 상대로 제기한 특허 무효분쟁에선 PSK가 우위를 이어갔다. PSK는 지난 2021~2022년 램리서치 특허 4건, 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 무효분쟁을 시작했다. 램리서치는 참엔지니어링 특허 2건 전용실시권자(독점 사용자)다. 

PSK가 램리서치 특허 4건을 상대로 제기한 무효분쟁 중 2건(등록번호 1441720·1265827)에선 PSK가 이겼다. PSK가 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 시작한 무효분쟁에선 PSK가 1건(등록번호 1433769), 참엔지니어링이 1건(등록번호 1249247) 승리를 나눠가졌다. 

특허무효분쟁에서 참엔지니어링이 PSK를 상대로 승리한 '플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247, 아래 '247 특허)가 지금껏 살아남은 특허 1건이다. 특허침해소송에선 1건만 침해가 입증돼도 특허권자가 승소할 수 있다. '247 특허를 놓고 양측은 첨예하게 대립하고 있다. 

베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발하자 램리서치는 PSK를 상대로 특허침해소송을 제기했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다.