램리서치, CMTX 상대 특허법원 항소...특허분쟁 지속

특허법원, 지난달 사건 접수...앞서 심판원은 "CMTX 비침해" 판단

램리서치가 CMTX(씨엠티엑스)를 상대로 특허법원에 항소했다. 앞서 지난 4월 특허심판원은 램리서치의 '한정 링'(C-링) 특허를 CMTX가 침해하지 않았다고 판단(심결)했는데, 램리서치가 이에 불복하고 지난달 하순 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

C-링은 반도체 공정 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 

(자료=CMTX)

쟁점 특허는 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934, 아래 '934 특허)다. 특허심판원은 지난 4월 CMTX가 '934 특허를 침해하지 않았다고 판단하기에 앞서, 지난 1월 '934 특허는 특허성이 없다고 심결한 바 있다.

'934 특허에 대해 CMTX와 SHM(옛 원세미콘) 등이 무효심판을 차례로 청구했는데 특허심판원이 이를 받아들였다. 램리서치는 특허심판원의 무효심판 심결에 대해서도 불복하고 지난 2월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

이번에 추가로 램리서치가 특허법원에 심결취소소송을 제기하면서 '934 특허에 대한 특허심판원의 무효심판, 소극적 권리범위확인심판(비침해) 판단에 대해 모두 특허법원에서 다시 다툰다. 

CMTX는 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582, 아래 '582 특허)를 놓고도 분쟁 중이다. '582 특허에 대해서도 특허심판원은 지난해 무효, 그리고 CMTX의 램리서치 특허 비침해 판단을 내렸다. 램리서치는 이들 심결에 대해서도 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

램리서치의 추가 항소로 CMTX는 특허분쟁 불확실성이 이어지고 있다. 특허심판원 단계에선 CMTX가 유리한 고지를 확보했지만, 특허법원 판단은 다를 수 있다. 

CMTX는 램리서치가 지난 2024년 서울중앙지방법원에 제기한 특허침해소송에도 대응 중이다. 침해소송 쟁점은 CMTX가 삼성전자에 공급한 C-링이 램리서치 특허를 직접 또는 간접 침해했는지 여부다. '짧은 접지 링'이 장착되는 장비와 호환성, 그리고 이에 따른 무선주파수 전류 흐름을 판단해야 한다. 지난 4월 변론기일에서 서울중앙지법 재판부는 CMTX에 삼성전자에 공급한 C-링 부품번호를 제출하라고 명령했다. 

램리서치가 특허침해소송을 제기하자, CMTX는 대응 차원에서 청구한 특허심판원 분쟁에서 바라던 결과를 얻었다. 특허 2건에 대해 특허심판원에 이어 특허법원도 무효라고 판단하면 특허침해소송에서도 CMTX가 유리할 수 있다. 

세계 식각장비 1위 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. CMTX와 SHM 외에 비씨엔씨, 플라텍, 윌비에스엔티, 월덱스 등이 램리서치와 유사한 분쟁을 치르고 있다.