플라텍, 램리서치 반도체 부품 특허 무효화 실패

특허심판원, 램리서치 특허 유효 판단...플라텍, 힘겨운 싸움 예상

반도체 공정 부품업체 플라텍이 램리서치 특허 무효화에 실패했다. 플라텍은 램리서치가 제기한 특허침해소송에 대응하기 위해 무효심판을 청구했던 것인데, 원하던 결과를 얻지 못해 힘겨운 싸움이 예상된다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 

17일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 15일 플라텍이 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)를 상대로 청구한 무효심판에서 플라텍 주장을 기각했다. 플라텍은 지난 2024년 무효심판을 청구하며 해당 특허의 청구항(권리범위)은 모두 무효라고 주장했지만 특허심판원이 받아들이지 않았다. 

(자료=플라텍)

전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 세계 식각장비 1위 램리서치는 최근 플라텍처럼 SK하이닉스와 삼성전자 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 플라텍은 지난 1일 공시한 감사보고서에서 램리서치가 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다고 밝혔다. 

플라텍이 이번 특허심판원 결정(심결)에 불복할 경우 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있다. 램리서치의 같은 특허를 상대로 또 다른 부품업체 윌비에스엔티도 2024년 무효심판을 청구했다. 해당 무효심판 판단은 아직 나오지 않았다. 

플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘), CMTX 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다. 

비씨엔씨는 2025년 하반기 특허심판원에서 램리서치 특허 2건은 무효, 다른 1건은 유효라는 판단을 받았다. 양측은 각각 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

CMTX는 지난해 특허심판원에서 램리서치 특허 1건에 대해선 무효, 그리고 비침해 판단을 받았다. 또 다른 특허 1건에 대해선 무효 판단을 받았지만, 침해 여부 판단은 아직 나오지 않았다. 램리서치는 특허심판원 심결에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

앞서 램리서치는 CMTX를 상대로 특허침해소송을 제기했다. 램리서치는 반도체 장비에 적용하는 C-링 특허 2건을 CMTX가 침해했다고 주장했다. C-링은 식각 공정 장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다.