CMTX, 램리서치 특허 비침해 판단받았다...고객은 삼성전자

특허심판원, 지난달 30일 심결

CMTX(씨엠티엑스)가 램리서치의 '한정 링'(C-링) 특허를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. CMTX는 해당 특허에 대해 무효라는 판단도 받은 상황이어서 전체 분쟁에서 유리해졌다. CMTX와 램리서치가 다투고 있는 C-링 고객사는 삼성전자다. 

C-링은 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다.

(자료=CMTX)

1일 업계에 따르면 특허심판원은 지난달 30일 CMTX가 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)를 침해하지 않았다고 판단(심결)했다. 

지난 2025년 1월 CMTX가 램리서치의 해당 '934 특허를 침해하지 않았다며 '소극적 권리범위확인심판'(소극심판)을 청구했는데, 특허심판원이 CMTX 주장을 받아들였다. 소극심판은 상대 특허를 침해하지 않았다는 판단을 구할 때 사용하는 분쟁이다. 

CMTX는 앞서 '934 특허가 무효라는 판단도 받았다. 지난 1월 특허심판원은 '934 특허에 대해 무효라고 심결했다. 램리서치는 불복하고 지난 2월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

CMTX는 지난해 특허심판원에서 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582)에 대해서도 무효, 그리고 비침해 판단을 받았다. 램리서치는 관련 심결에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다.

이들 특허분쟁 발단은 앞서 램리서치가 CMTX를 상대로 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기하면서 시작됐다. 고객사는 삼성전자다. 

CMTX가 삼성전자에 공급한 C-링이 램리서치의 특허를 직접 또는 간접 침해했는지 여부가 침해소송 쟁점이다. '짧은 접지 링'이 장착되는 장비와 호환성, 그리고 이에 따른 무선주파수 전류 흐름을 판단해야 한다. 지난달 변론기일에서 서울중앙지법 재판부는 CMTX 측에 삼성전자에 공급한 C-링 부품번호를 제출하라고 밝혔다. 

세계 식각장비 1위 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 

또 다른 반도체 공정 부품업체 플라텍은 지난달 램리서치 특허 무효화에 실패했다. 지난달 중순 특허심판원은 플라텍이 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)를 상대로 청구한 무효심판에서 플라텍 주장을 기각했다. 

플라텍은 램리서치가 제기한 특허침해소송에 대응하기 위해 무효심판을 청구했던 것인데, 원하던 결과를 얻지 못했다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 

CMTX와 플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘) 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다.