램리서치 "5년 전 경고했는데 아직 특허침해" vs. 플라텍 "특허소진론 적용을"

"2021년부터 특허침해를 경고했는데, 지금도 계속 특허를 침해하고 있다."(램리서치)

"장비 판매 후 반도체 고객의 부품 교체·수리에는 특허권을 행사해선 안 된다."(플라텍)

3일 서울중앙지방법원에서 열린 반도체 공정 부품 특허침해소송 변론기일에서 나온 원고(특허권자) 램리서치와 피고 플라텍의 주장이다. 특허침해소송은 지난 2024년 시작됐다.

쟁점 특허는 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프'(등록번호 1708060, 아래 '060 특허)다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 안에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다.

세계 식각장비 1위 램리서치는 식각 장비와 관련 소모성 부품을 반도체 업체에 공급한다. 플라텍은 비슷한 소모성 부품을 납품하는 애프터마켓 업체다. 일반적으로 애프터마켓 업체는 비포마켓 업체보다 낮은 가격에 부품을 공급한다.

램리서치 특허 '캠 고정 전극 클램프'(등록번호 1708060) 대표도면 (자료=키프리스)

이날 램리서치는 "2021년 특허침해 경고장을 발송했는데, 피고(플라텍)는 지금도 계속 특허를 침해하고 있다"며 "(1심 선고에서) 특허침해금지와 손해배상 판결이 나와야 한다"고 주장했다.

플라텍은 "(램리서치 식각 장비를 구매한) 반도체 고객의 부품 교체, 수리 등에는 특허권을 행사해선 안 된다"고 밝혔다. 이는 특허소진론 논리다.

특허소진론은 특허권자가 특허를 적용한 제품을 정당하게 판매한 뒤에는, 구매자의 해당 제품 사용·수리·처분 등에 대해선 특허권을 행사해선 안 된다는 원칙이다. 플라텍의 주요 고객은 SK하이닉스다.

플라텍은 이날 마지막 변론기일에서 램리서치의 '060 특허의 매출 기여율과 손해액 산정 등을 추가로 따져봐야 한다고 밝혔다. '060 특허가 특허성이 없다는 주장은 하지 않았다.

'060 특허에 대해 특허심판원은 지난 4월 유효하다고 판단(심결)했다. 플라텍은 이 심결에 불복하고 지난 5월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. '060 특허에 대해 또 다른 애프터마켓 업체 윌비에스엔티도 특허심판원에 무효심판을 청구했지만 지난 8월 특허심판원은 유효하다고 심결했다.

램리서치와 플라텍의 특허침해소송 1심 변론은 이날로 끝났다. 재판부는 다음달 선고할 예정이다.