램리서치, 팹 유지 보수 협동로봇 '덱스트로' 출시...반도체 업계 최초

정밀성, 정확성으로 가동시간 늘리고 수율 향상

반도체 장비 업체 램리서치는 반도체 업계 최초로 웨이퍼 제조 장비의 유지 보수 작업 최적화를 위해 설계된 협동로봇 '덱스트로(Dextro)'를 출시했다고 11일 밝혔다.

덱스트로는 현재 전 세계 여러 첨단 웨이퍼 팹에 배치되어 정밀한 유지 보수를 통해 장비 다운타임과 생산 변동성을 최소화하고, 최초 작업 성공(FTR, First-Time-Right) 결과를 통해 한계 수율을 개선하고 있다.

램리서치 협동 로봇 '덱스트로' (사진=랩리서치)

반도체는 나노 단위의 정밀도가 필요한 만큼 반도체 제조 장비에는 첨단 물리학, 로봇 공학 및 화학 기술 등이 활용된다. 이 때문에 웨이퍼 팹에는 정기적으로 정교한 유지 보수를 필요로 하는 수백 개의 공정 장비들이 설치돼 있다. 덱스트로는 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 중요한 유지 보수작업을 반복적으로 실시함으로써 장비의 비용 효율성을 향상하도록 설계됐다. 

덱스트로는 차세대 반도체 팹의 효율성을 높이고 운영 비용을 최적화한다. 램리서치의 스마트 솔루션은 자동 보정 및 자가 적응 유지 보수 기능을 통해 팹 운영의 정확성과 안정성을 제공하는 램리서치 장비 '인텔리전스 공정 툴'을 제공한다. 또 데이터, 머신러닝, 인공지능, 램리서치의 전문 지식을 활용해 생산성 향상을 달성하는 '장비 인텔리전스 서비스'도 포함된다.

덱스트로는 현재 램리서치의 Flex G 및 H 시리즈 유전체 식각 장비를 지원하고 있으며, 장비 지원 범위를 확장할 계획이다.

크리스 카터(Chris Carter) 램리서치 고객 지원 사업부 부사장은 "덱스트로는 반도체 제조 장비 유지 보수 분야에서 중요한 도약을 이뤘다"라며 "최첨단 팹안에서 엔지니어들과 함께 작업을 할 수 있도록 제작되어, 인간의 한계를 넘어선 정밀도와 반복성을 통해 복잡한 유지 보수 작업을 수행하며, 가동 시간을 늘리고 제조 수율을 향상시켰다"고 말했다.

김영주 삼성전자 상무 겸 메모리 에치기술팀장은 "반도체 제조 장비에 유지보수가 필요한 경우, 장비 가동 중단 시간을 줄이고 비용 낭비를 방지하기 위해 신속하고 효율적으로 작업해야 한다"며 "덱스트로의 오류 없는 유지 보수는 공정 변동성과 수율 개선에 기여한다"고 말했다.

박준홍 램리서치코리아 한국법인 총괄 대표이사는 "고객의 수율 개선과 생산성 극대화가 우리의 최우선 과제"라며 "램리서치는 제조 공정에 AI를 통합한 솔루션으로 이러한 한계를 극복해나가고 있다"고 밝혔다. 이어 "덱스트로는 최첨단 팹에서 사람과 로봇의 협업을 통해 효율성과 생산성을 극대화하는 혁신적인 솔루션"이라며 "급변하는 환경 속에서 고객의 비즈니스 목표 달성에 기여할 것"이라고 강조했다.