'반도체 ALD 특허분쟁' 코쿠사이·유진테크, 특허 2건 판단 확정

유진테크와 반도체 공정 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이의 특허 2건에 대한 판단이 확정됐다. 두 업체가 다투고 있는 코쿠사이 특허는 4건이다.

14일 업계에 따르면 대법원은 지난 8일 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허) 관련 상고심 3건에서 모두 기각 판결했다. 대법원의 기각 판결로 '961 특허의 청구항(권리범위) 중 대부분 무효(일부 유효)라는 특허법원 판단이 확정됐다.

앞서 지난 2024년 12월 특허심판원은 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 쟁점 청구항 중 7항만 유효로 판단됐다. 이후 양측이 특허법원과 대법원에 차례로 각각 상소했지만 기각됐다.

코쿠사이는 '961 특허 청구항이 무더기로 무효가 되자 정정을 노렸지만 특허심판원, 특허법원에 이어 대법원에서도 기각됐다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 청구한다.

대법원이 기각한 '961 특허 상고심 3건 중 2건이 무효심판 상고심이었고, 1건이 정정심판 상고심이었다.

코쿠사이의 또 다른 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허)는 권리범위가 좁혀진 상태에서 유효 판단이 확정됐다.

지난 7월 특허심판원에서 '644 특허는 유효라고 판단한 뒤 양측이 항소하지 않았고, 지난 9월 심결이 확정됐다. 하지만 코쿠사이가 '644 특허를 4차례 정정했기 때문에 권리범위가 좁혀졌다. 권리범위가 좁으면 특허권자 입장에서 상대의 특허 침해를 입증하기 쉽지 않다.

이로써 코쿠사이의 '961 특허는 청구항 대부분이 무효라는 판단, '644 특허는 권리범위가 크게 좁혀진 상태로 유효라는 판단이 확정됐다. 이들 코쿠사이 특허 2건에 대해선 유진테크가 유리한 입지를 확보한 것으로 보인다.

아직 양측이 법정에서 다투고 있는 코쿠사이 특허는 2건이다.

코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)은 지난 7월 특허법원에서 무효 판결이 나왔다. 앞서 특허심판원이 2024년 12월 유효라고 판단했지만 특허법원에서 뒤집혔다. 코쿠사이는 이에 불복하고 지난 8월 대법원에 상고했다.

코쿠사이는 '052 특허도 정정을 시도했지만 특허심판원, 특허법원에서 거푸 기각됐다. 이에 불복하고 대법원에 상고했다.