'코쿠사이-유진테크' 특허 1건 무효 판단 이달 나온다

유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비를 놓고 특허분쟁 중인 코쿠사이 특허 1건에 대한 특허심판원의 유효성 판단이 이르면 이달 하순 나온다.

코쿠사이가 유진테크를 상대로 지난 2024년 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허 4건 중 3건에 대한 분쟁은 특허심판원 판단(심결)을 거쳐 특허법원과 대법원 등에서 이어지고 있는데, 나머지 1건에 대해선 아직 특허심판원 판단도 나오지 않았다. 코쿠사이가 해당 특허를 4차례 정정했기 때문이다. 특허권자는 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 정정한다.

특허심판원 심결을 기다리는 코쿠사이 특허는 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허)이다.

특허심판원 심판부는 2일 열린 '644 특허 무효심판 구술심리에서 "구술심리를 종결하고, 새로운 주장이 없으면 7월 말이나 8월 초 심결하겠다"고 밝혔다.

추후 의견서 제출 여부를 묻는 심판부 질문에 유진테크는 "새로운 주장을 포함하지 않고, 구술심리 질의응답에서 나왔던 내용을 보충 설명하는 내용의 의견서를 제출하겠다"고 답했다. 코쿠사이는 "(유진테크 의견서에) 반박할 내용이 있으면 의견서를 제출하겠다"고 밝혔다.

'644 특허에 대한 특허심판원 심결에 불복하는 이는 특허법원에 항소할 수 있다.

코쿠사이의 '644 특허를 제외한 나머지 특허 3건에 대한 판단은 특허법원 이상 심급으로 올라갔다.

특허법원은 지난 5월 하순 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법' 특허(등록번호 1037961, 아래 '961 특허) 관련 심결취소소송 3건을 모두 기각했다. 3건 중 2건은 특허심판원의 무효심판 판단(심결)에 대한 항소, 나머지 1건은 정정심판 심결에 대한 항소였다. 특허법원이 3건 모두 기각하면서 특허심판원 판단이 유지됐다.

앞서 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 유진테크는 '961 특허의 2~18항, 20항이 무효라고 주장했는데, 7항을 빼고는 특허심판원이 모두 받아들였다.

코쿠사이는 특허심판원에서 2024년 12월 무효심판 심결이 나온 뒤 2025년 4월 정정심판을 청구했지만, 지난 1월 기각됐다. 여기에 대해서도 코쿠사이가 항소했지만 특허법원은 받아들이지 않았다.

유진테크는 코쿠사이의 '961 특허 관련 분쟁에선 우위를 점했다. 코쿠사이는 이들 특허법원 판결에 불복하고 지난달 대법원에 상고했다.

또 다른 코쿠사이 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)에 대한 특허법원 판결은 이달 중순 나온다. 유진테크는 '052 특허를 상대로 특허심판원에 청구한 무효심판이 기각되자 특허법원에 항소했다. 코쿠사이는 '052 특허에 대해서도 특허심판원에 정정심판을 청구했지만 기각됐다. 이에 대해 코쿠사이는 특허법원에 항소했다.