네덜란드 노광장비 업체 ASML이 일본에 신규 기술 지원센터를 설립한다고 닛케이아시아가 27일 보도했다.
ASML의 이번 결정은 일본 라피더스를 지원하기 위한 조치다. 라피더스는 지난해 11월 토요타, 소니, 키오시아 등 일본 8개 기업이 합작 설립한 회사다. 반도체 최첨단 공정에 속하는 2나노미터(nm) 양산을 목표로, 홋카이도 지역에 첫 파운드리 팹을 구축할 계획이다.
이에 대응해 ASML은 라피더스의 팹이 구축되는 홋카이도 지역에 내년 하반기까지 신규 기술 지원 센터를 설립하기로 했다.
ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV(극자외선) 노광장비를 생산할 수 있는 기업이다. EUV는 기존 반도체 노광공정에서 활용되던 광원 대비 빛의 파장이 짧아, 회로를 더 미세하게 구현하는 데 용이하다. 때문에 7나노 이하 공정에서는 EUV 장비 활용이 사실상 필수적으로 꼽힌다.
닛케이는 "ASML의 엔지니어 50여명이 라피더스가 구축 중인 시생산 라인에서 EUV 자입 설치 및 유지보수를 지원할 것"이라고 밝혔다.
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한편 ASML은 대만 주요 파운드리 TSMC가 일본 구마모토 지역에 건설 중인 공장도 확대 지원할 예정이다. TSMC의 구마모토 제1공장은 12~28나노 공정 제품을 내년 말부터 양산하는 것을 목표로 하고 있다.
ASML은 해당 공장 지원을 위해 현지에 근무하는 엔지니어 수를 기존 10명에서 40명으로 늘릴 계획이다.