ASML, 대만 TSMC에 극자외선 노광장비 공급

반도체 장비업체인 네덜란드 ASML은 영국 런던에서 열린 기업설명회(IR)에서 대만 TSMC에 EUV 노광장비 2대를 공급하기로 했다고 24일(현지시간) 밝혔다.

TSMC는 세계 최대 반도체 파운드리(위탁생산) 업체로 세계 주요 팹리스 업체의 제품 생산을 담당하고 있다.

공급 대상 장비는 ‘NXE: 3350B’로 내년 중 TSMC 라인에 설치돼 반도체 양산에 사용될 예정이다. TSMC에 기존에 설치돼 있던 ‘NXE: 3300B’ 플랫폼 2대도 ‘NXE: 3350B’ 성능으로 업그레이드 할 예정이다.

한편 ASML은 이날 행사에서 오는 2020년까지 100억유로 규모의 순매출과 3배 이상의 주당 순이익 달성을 이루겠다는 비전을 발표했다.

연구개발 방향에 대해서는 오는 2016년부터 EUV 장비의 비용 대비 효과가 개선되면서 반도체생산 과정이 간결해지고 피처 크기를 줄이는 방향으로 모색한다고 밝혔다.

또 원자외선(Deep-UV) 이머전 시스템이 멀티 패터닝에 사용되고, 자사 홀리스틱 리소그래피 제품을 통해 전체 노광 공정이 더 향상된 성능으로 오차를 줄이며 생산량을 늘릴 수 있을 것이라고 설명했다.

향후 시장 전망에 대해서는 새로운 응용 소프트웨어와 소비자 기기, 서비스 등을 요구하는 고객사들의 수요에 따라 성능과 크기, 전력소비 부문에서 향상된 트랜지스터를 요구할 것으로 내다봤다. 이같은 과정 속에서 무어의 법칙이 향후 10년간 업계를 이끌고, 여기에 노광기술이 핵심 조력자가 될 것이라고 덧붙였다.