주성엔지니어링, 뉴욕주립대에 반도체 장비 공급

주성엔지니어링(대표 황철주)은 미국 뉴욕주립대(SUNY) 올버니 나노텍 캠퍼스에 위치한 나노스케일과학·공학대(CNSE)와 뉴욕주립대 기술원(SUNYIT)에 차세대 반도체 공동개발을 위한 최첨단 장비를 공급하기로 합의했다고 발표했다.

CNSE는 나노과학·나노공학·나노생물학·나노경제학 분야 선두주자이며, SUNYIT는 공학을 비롯한 사이버보안·컴퓨터 과학·공학기술 및 비즈니스·커뮤니케이션·간호 등 분야에 학부와 학위 프로그램을 제공하고 있다. 최근 뉴욕주의 차세대 반도체 개발 주도권을 유지를 위해 앤드류 M 쿠오모 주지사가 집중 육성하는 곳이기도 하다.

이번에 공급되는 주성엔지니어링의 식각장비(모델명 Genaon Plus)는 업계 최초로 신소재 금속층을 제거하는 핵심 공정을 포함하는 장비로 반도체 칩 효율을 개선할 수 있는 것이 특징이다. 주성엔지니어링은 장비 공급과 더불어 최첨단 기술 요구 기준에 맞는 혁신적인 식각 및 봉지 기술 개발을 위해 CNSE 및 CNSE의 글로벌 파트너와 협력하기로 했다.식각장비와 함께 공급되는 싱글타입 TSD-CVD는 세계 최초로 공간과 시간분할을 동시에 할 수 있는 반도체용 증착장비다. 이는 기존 화학증착(CVD) 및 원자층증착(ALD)뿐 아니라 질화(Nitridation), 산화(Oxidation), 도핑(Doping), 금속(Metal) 전극 증착 기능 등 다양한 공정에 적용 가능한 것이 특징이다. 식각 공정이 완료된 후 폴리머 잔여물이 남지 않고 세정 간 평균시간(MTBC)이 200시간 이상이며, 표면에 플라즈마 손상까지 없다는 것이 장점이다.

황철주 주성엔지니어링 대표는 “주성이 공급하는 장비는 세계 최초로 차세대 반도체의 새로운 금속물질을 식각하는 공정에서 식각 및 증착을 위한 완벽한 솔루션을 제공한다”며 “현재 올버니 나노텍 캠퍼스에서 사용하고 있는 동급 최강의 장비 및 공정과 결합해 세계 반도체 산업의 혁신을 추진할 것”이라고 말했다.