주성엔지니어링, CNE에 M램 식각장비 공급

반도체ㆍ디스플레이ㆍ태양전지 제조장비 전문업체 주성엔지니어링(대표 황철주, 이하 주성)이 반도체 제조업체인 CNE(Crocus Nano Electronics)와 차세대 메모리 주력제품인 자기저항메모리(Magnetic RAM, M램) 식각장비 공급계약을 체결했다고 16일 밝혔다.

CNE는 MRAM 반도체 개발 전문 업체인 미국 크로크스 테크놀로지(Crocus Technology)와 러시아 국영 해외투자기업 러스나노(RUSNANO)가 설립한 합작사다. 이번 공급은 미국 크로크스 테크놀로지에서 모든 기술과 제품에 대한 양산성을 검증해 주성의 신규 제품이 세계 시장에서 인정받는 계기가 마련됐다는 점에 의미가 있다.

주성이 공급하게 된 M램 식각 장비(Genaon Plus)는 기존 반도체와 달리 다양한 화합물 신소재를 사용하는 차세대 반도체 성격상 기존 장비로는 가공이 어려운 플래티넘, 망간, 코발트 등의 자기 금속층을 제거할 수 있는 핵심 공정 장비다.

특히 주성의 장비는 M램 공정에서도 가장 중요한 자기 금속층 패터닝에 특화된 플라즈마 식각 장비로 식각 공정 중 측면에 남아있는 찌꺼기인 폴리머(Polymer)를 모두 제거, 반도체 칩 효율을 크게 높일 수 있다는 것이 회사의 설명이다.

M램은 플래시메모리의 장점인 비휘발성과 D램의 장점인 빠른 동작속도를 결합한 저전력 고집적 차세대 메모리로 주목 받으며 상용화를 위한 원천기술 확보에 관심이 모아져 있다. 주성은 이번 장비공급을 바탕으로 빠르게 성장하고 있는 차세대 반도체 식각장비 시장의 초기 시장에 진입에 성공함으로써 향후 관련 시장 확대에 적극 나설 예정이다.

황철주 주성엔지니어링 대표이사는 “이번 장비공급은 당사의 혁신적인 장비로 양사가 세계 최초로 M램 양산기술을 확보할 수 있는 가치 있는 일이라고 생각한다”라며 “향후 고객사와의 장기적 우호 관계를 형성하며 차세대 반도체 시장을 개척하는데도 공동 협력해 나가겠다”고 밝혔다.

현재 M램은 미래 컴퓨터의 중앙연산장비(CPU)를 대체할 강력한 차세대 메모리로 부상하고 있으며 오는 2018년 전 세계적으로 약 1조원 이상이 될 것으로 보인다. 업계는 주성의 M램 장비 공급이 그 동안 연구개발 단계에 머물렀던 M램 시장이 본격적인 양산을 위한 개화기를 맞이하고 있는 신호로 보고 있다.