주성엔지니어링, STD CVD 세계 첫 개발

신개념 반도체 증착 장비…디스크 처리용량 2배

주성엔지니어링은 세계 최초로 시공간 분할 플라즈마 화학증착기(STD CVD) 개발에 성공해 미국 반도체 연구기관에 공급했다고 21일 밝혔다.

주성엔지니어링이 개발한 싱글타입 STD CVD는 공간과 시간을 동시에 분할할 수 있는 반도체용 증착장비로 기존 화학증착식(CVD)과 원자증착식(ALD) 뿐만 아니라 질화, 산화, 도핑, 금속 전극 증착 등 다양한 공정에 대응할 수 있다.

기존 장비가 한 번에 하나의 챔버에 5장의 디스크를 처리할 수 있었던데 비해 독립된 10개의 챔버에 1장씩 넣고 동시에 10장을 처리할 수 있다. 또 작업자가 원하는 시점에 가스 소스를 공급할 수 있는 시분할도 가능해 효율적인 공정 관리가 가능해진다.

거기에 차세대 반도체 공정의 효율성을 극대화하기 위해 단차피복성(Step Coverage)과 막질이 우수한 물질을 새롭게 개발해 기존 증착기가 갖고 있던 한계점을 개선했다.최대 10개의 싱글 챔버를 통합할 수 있도록 제작돼 단위 시간당 생산량을 극대화하면서도 차세대 반도체 공정이 요구하는 증착, 식각, 세정 등 주요 프로세서 통합에도 최적화돼 의미가 크다고 주성엔지니어링은 설명했다.

주성엔지니어링 관계자는 “세계 반도체 산업의 미래를 만들어 가고 있는 중심부에 차세대 장비를 공급한다는 것은 향후 반도체 시장을 선점할 수 있는 기회가 될 수 있다는 점에서 기대가 크다”며 “이번 공급이 향후 장비 매출의 확대로 이어질 수 있도록 최선을 다할 계획”이라고 밝혔다.