테스, 삼성전자에 36억규모 반도체장비 공급

테스는 지난 6일 삼성전자에 36억원 규모의 반도체 제조장비를 공급하는 계약을 체결했다고 9일 공시했다.

테스와 삼성전자가 체결한 장비 공급계약 규모는 지난해 테스의 매출액 703억5천만원의 5.1%에 해당한다.

테스는 반도체, 태양전지, 디스플레이 장비 제조업체로 지난 2002년 9월 설립됐다.

앞서 회사는 지난 3일 소자 정밀도, 웨이퍼 균일도, 공정 효율을 높일 수 있는 반도체소자 제조방법 특허 취득도 공시했다.

회사측은 공시에서 특허를 "포토리소그래피에 의해 형성가능한 최소패턴보다 미세한 패턴을 갖는 반도체소자를 제조할수 있다"며 "실리콘과 산화막의 선택비를 높일수 있고 각각의 챔버에서 매엽식으로 진행될 수 있어 웨이퍼 균일도를 개선할 수 있다"고 설명했다.

이어 "자연적으로 생성되는 산화막에 기인하는 공정의 변동을 최소화할 수 있는 효과를 얻을 수 있다"며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화"를 꾀할 것이라고 밝혔다.