티씨케이, 반도체 식각 SiC 포커스링 특허 정정...디에스테크노 상대 분쟁

반도체 소재·부품업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 특허 1건을 정정했다. 일반적으로 특허 무효화 가능성이 있을 때 특허권자는 특허 권리범위를 좁혀 정정한다. SiC 포커스링은 반도체 식각 공정에 사용하는 소모성 부품이다.

티씨케이는 지난 2019년 디에스테크노를 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다. 디에스테크노는 대응 차원에서 티씨케이 특허 4건을 상대로 특허심판원에 여러 심판을 청구했다. 특허 3건에 대한 특허성 판단은 끝났고, 나머지 특허 1건 특허성 판단은 진행 중이다.

10일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 7일 티씨케이의 '화학기상증착(CVD) 방식으로 형성된 SiC 구조체' 특허(등록번호 2117888, 아래 '888 특허) 정정 청구를 받아들였다. 일반적으로 특허가 정정되면 권리범위가 좁아지기 때문에 향후 분쟁에서 특허가 살아남을 가능성은 커지지만, 특허 침해를 입증하기는 어려워진다.

디에스테크노는 티씨케이의 '888 특허가 무효라고 주장하지만, 2025년 7월 특허심판원은 유효라고 판단(심결)했다. 이에 앞서 특허심판원은 2023년 11월 '888 특허는 무효라고 심결했지만, 특허법원이 2024년 10월 해당 심결을 취소하고 사건을 특허심판원으로 돌려보낸 바 있다. 특허심판원이 무효심판 환송사건에서 2025년 7월 유효라고 판단한 것인데, 디에스테크노는 이에 불복하고 2025년 8월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 심결취소소송은 아직 본격 심리가 열리지 않았다.

특허심판원이 지난 7일 티씨케이의 '888 특허 정정 청구를 인용했기 때문에, 특허법원에 올라간 '888 특허 무효 심결취소소송 변론도 곧 열릴 것으로 예상된다.

디에스테크노는 티씨케이가 특허침해소송을 제기한 2019년부터 티씨케이의 특허 4건을 상대로 특허심판원에 무효심판, 소극적 권리범위확인심판(소극심판) 등을 청구했다. 소극심판은 상대 특허를 침해하지 않았다는 판단을 구하는 분쟁이다.

디에스테크노는 티씨케이의 'SiC 소재 및 SiC 복합소재' 특허(등록번호 1866869, 아래 '869 특허)에 대해선 2022년 1월 무효라는 판단을 받았다. 티씨케이는 '869 특허에 대해서도 정정을 시도했지만 무산됐다.

디에스테크노가 티씨케이의 또 다른 특허 '투과도가 다른 복수 개의 층을 갖는 SiC 반도체 제조용 부품 및 그 제조방법'(등록번호 1914289, 아래 '289 특허)을 상대로 청구한 무효심판에선 일부유효·일부무효 판단이 나왔다. 특허법원과 대법원 판단도 같았다. 디에스테크노가 '289 특허를 상대로 특허심판원에 청구한 소극심판에서는 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 침해소송을 심리하는 서울중앙지법 판단은 다를 수 있다.

디에스테크노가 티씨케이의 '투과도가 다른 복수 개의 층을 갖는 SiC 반도체 제조용 부품 및 그 제조방법' 특허(등록번호 2208252, 아래 '252 특허)를 상대로 특허심판원에 청구한 무효심판에선 유효 판단이 나왔다. 디에스테크노는 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했지만 취하했다.