자이스, 용인에 첫 반도체 센터…韓고객과 패키징 협력 강화

용인 반도체 이노베이션 센터 개소…향후 확대 운영

글로벌 광학 기업 자이스가 국내 주요 반도체 기업과 협력을 강화한다. 반도체 수율 향상을 위한 포토마스크·패키징 장비를 용인에 도입해, 고객사 평가 및 검증을 앞당긴다는 전략이다. 

자이스코리아는 10일 서울 웨스틴 조선에서 미디어간담회를 열고 국내 반도체 사업 강화 전략을 밝혔다. 

매튜 M 윌슨 자이스코리아 반도체사업부 사업부장(부사장)이 발표를 진행하고 있다(사진=지디넷코리아)

자이스코리아는 지난 9일 용인에 자사 반도체 사업부의 첫 글로벌 '자이스 반도체 이노베이션 센터(ZSKIC)'를 개소한 바 있다. 총 350제곱미터(㎡) 규모 ZSKIC는 최신 포토마스크 솔루션과 고정밀 계측 및 검사 솔루션 등을 고객사가 직접 체험할 수 있는 시설이다. 이를 통해 고객 양산 환경에 맞춘 솔루션 개발 및 검증을 신속하게 지원할 수 있다는 게 회사 설명이다. 

이번 센터는 고대역폭메모리(HBM), 하이브리드 본딩 등 최첨단 패키징 기술 개발 협력에 초점을 맞출 예정이다. 미하엘 헨첼 자이스 SMT 첨단패키징사업부 부서장은 "이노베이션 센터 내 장비로 인공지능(AI) 슈퍼사이클의 큰 원동력 중 하나인 패키징 개발 속도를 높이겠다"고 말했다. 

ZSKIC에는 자이스의 'NLX-100' 및 'DUNE 100' 장비를 도입했다. NLX-100은 3D 엑스레이 계측·검사 솔루션이다. 복잡한 패키지 구조에 대한 고해상도 진단 및 데이터를 제공한다. DUNE 100은 반도체 웨이퍼 형상을 측정하고 교청하는 솔루션이다. 화학 물질 없이도 반도체 제조 공정에서 발생하는 휨(워피지) 현상과 특정 영역 왜곡을 교정할 수 있다. 

매튜 M 윌슨 자이스코리아 반도체사업부장은 "자이스는 전 세계 최고의 광학 기술을 가지고 있고, 이를 고객들이 최대한 빠르게 자사 솔루션에 활용하도록 돕겠다"며 "향후에도 차세대 포토마스크 수리 장비를 도입하는 등 5개년 계획을 가지고 센터 운영을 확대하겠다"고 말했다. 

자이스는 지난 1986년 설립된 독일 광학 기업이다. 반도체, 의료, 소비재 등 여러 산업 분야에서 광학 솔루션을 공급해 왔다. 반도체 산업의 경우, 최첨단 공정 기술인 극자외선(EUV) 노광장비용 광학 렌즈에서 독보적 입지를 확보했다.