파크시스템스, IR 분광 기능 통합된 AFM 장비 'Park FX40 IR' 출시

최대 20mm×20mm 크기 샘플 대응

파크시스템스가 분자 수준의 화학 정보와 표현 형상 정보를 동시에 획득할 수 있는 첨단 계측 장비를 선보인다.

파크시스템스는 나노스케일 적외선(IR) 분광 기능을 통합한 스몰 샘플 전용 자동화 AFM ‘Park FX40 IR’를 출시한다고 2일 밝혔다.

파크시스템스의 FX40 IR 장비(사진=파크시스템스)

FX40 IR은 지난해 출시된 FX200 IR 및 FX300 IR의 후속 제품이다. 각각 대형 샘플과 웨이퍼 전(全) 영역 규모에서 제공되던 나노스케일 IR 분석 역량을 스몰 샘플 연구 영역까지 확장한다.

FX40 IR은 세계 최초의 완전 자동화 연구용 AFM인 Park FX40 플랫폼을 기반으로 개발됐다. Park FX40은 프로브 교체, 레이저 빔 정렬, 팁 접근, 이미지 획득에 이르는 측정 전 과정을 자동화해 사용 편의성과 재현성을 높였다.

또한 광학 현미경과 Z 스테이지를 분리한 FX 시리즈 고유의 기계 설계를 적용해 외부 진동 영향을 최소화함으로써 낮은 노이즈 플로어, 최소 수준의 열 드리프트, 우수한 기계적 안정성을 구현했다. FX40 IR은 이러한 검증된 AFM 플랫폼에 나노스케일 IR 분광 기능을 통합해 단일 측정 과정에서 분자 수준의 화학 정보와 표면 형상(topography) 정보를 동시에 획득할 수 있도록 지원한다.

FX40 IR은 최대 20mm×20mm 크기의 샘플에서 나노스케일 IR 화학 정보와 표면 형상을 동시에 분석할 수 있다. 또한 표면 접촉 없이 5nm 이하의 공간 해상도로 분자 조성을 식별할 수 있다. 특히 비접촉 방식의 나노스케일 IR 측정은 기존 FT-IR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)의 약 10μm 광학 회절 한계를 뛰어넘고, 접촉 기반 광열 방식의 10~20 nm 수준 해상도 대비 향상된 공간 분해능을 제공한다.

조상준 파크시스템스 연구장비사업부 총괄 전무는 “FX40 IR은 단순한 기능 추가형 장비가 아니라, 나노스케일 IR 기능이 완전히 통합된 완전한 AFM 플랫폼”이라며 “FX IR 시리즈 포트폴리오 완성을 통해 고객은 칩 캐리어 수준의 소형 샘플부터 전체 웨이퍼 규모에 이르기까지 동일한 정밀도와 워크플로우, 자동화 환경에서 연구를 수행할 수 있게 됐다”고 말했다.

파크시스템스는 FX40 IR의 단계적 도입 방식도 함께 제공한다. 연구실은 향후 IR 모듈 통합을 고려해 업그레이드 가능한 FX40 시스템을 우선 도입한 뒤, 연구 확장 및 분석 수요 증가에 따라 IR 구성을 추가할 수 있다. 이를 통해 고객은 초기에는 세계적 수준의 자동화 AFM에 투자하고, 이후 장비 교체 없이 나노스케일 IR 분광 기능으로 연구 범위를 유연하게 확장할 수 있다.