수자원공사, 표준硏·물기술인증원 손잡고 초순수 경쟁력 강화

최초 국산 인증 기반 구축·극미량의 초순수 분석 가능 기술개발 탄력

반도체ㆍ디스플레이입력 :2025/02/05 12:45

한국수자원공사(K-water·대표 윤석대)는 한국표준과학연구원(원장 이호성)·한국물기술인증원(원장 김영훈)과 국산 초순수의 품질 및 신뢰 수준을 높이기 위해 ‘초순수 기술 검·인증 기반 구축’ 업무협약을 체결했다고 밝혔다.

초순수는 미량의 불순물을 제거한 뒤 물을 구성하는 수소·산소만 남긴 극도의 깨끗한 물로, 반도체 웨이퍼 세척 등에 쓰이는 반도체 생산 필수재다. 생산에 20단계 이상의 고난도 수처리 공정이 필요하며 생산된 초순수는 높은 수준의 품질이 요구된다.

지금까지 초순수 기술은 설계·시공·운영에서 소재·부품·장비를 포함하는 생산기술을 유럽·미국·일본 등 일부 국가에 의존해왔다.

이호성 한국표준과학연구원장, 윤석대 한국수자원공사 사장, 김영훈 한국물기술인증원장(왼쪽 네 번째부터)이 '초순수 기술 검인증 기반구축'을 위한 협약식에서 참석자들과 기념촬영을 하고 있다.

수자원공사에 따르면 초순수 기술현황은 생산기술 국산화 이후 상용화를 앞둔 상황이지만, 반도체 공정에 투입할 초순수 품질인증은 국내 공인기관이 없어 미국·일본 등 선진국에 의존하고 있다.

수자원공사는 이번 협약으로 우리나라 반도체 경쟁력 강화의 핵심인 초순수의 기술 자립에 더해, 글로벌 기준에 맞는 표준과 인증 기반이 국내에서 새롭게 마련될 것으로 기대했다.

세 기관은 각자의 전문성을 살려, 초순수 검·인증 국산화를 위해 ▲품질 분석·평가 기술개발(수자원공사) ▲측정 기술 표준화 지원(한국표준과학연구원) ▲관련 제도개발(한국물기술인증원) 등에 협력하기로 했다.

수자원공사는 국산 초순수 상용화 추진과 함께 성능 측정 등과 연계한 신기술 개발로 초순수의 순도와 신뢰성을 끌어올릴 계획이다.

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지난해 12월 국산 기술로 생산한 초순수를 SK실트론 반도체 웨이퍼 제조시설에 국내 최초로 공급한 뒤, 이르면 올해 SK하이닉스 초순수 사업 진출에도 적용한다는 계획이다.

윤석대 수자원공사 사장은 “이번 협약은 초순수 기술을 개발하는 단계를 지나 우리 손으로 글로벌 수준에 부합하는 표준과 인증체계를 수립하는 첫 시작점인 점”이라며 “협약 기관과 긴밀한 협력으로 초순수 생산부터 인증까지 전 과정에 걸쳐 자립 생태계를 확립하고, 대한민국 초순수가 세계 시장에서 상용화될 수 있도록 글로벌 경쟁력을 키워가겠다”고 밝혔다.