반도체 초순수 국산화 성공…SK실트론 실증플랜트 통수식 개최

반도체용 초순수 설계·시공·운영 기술 100%…기자재 70% 국산화

국산 기술로 생산한 반도체 초순수가 국내 최초로 반도체 제조 공정에 공급됐다.

환경부는 9일 SK실트론 구미2공장에서 ‘초순수 국산화 실증플랜트 통수식’을 했다고 밝혔다.

초순수는 불순물이 거의 없는 상태의 물이다. 반도체 표면의 각종 부산물과 오염물질 등을 세척하는 데 사용된다. 반도체 산업 이외에도 의료·바이오·화학·이차전지·디스플레이 등 첨단 산업에 사용되는 필수 자원이다.

초순수 시장 규모는 2021년 기준으로 국내 2조2천억원, 해외 28조원에 이르며 2028년까지 국내 2조5천억원, 해외는 35조5천억원까지 성장할 것으로 전망된다.

박재현 환경부 물관리정책실장(오른쪽 두 번째)이 SK실트론 관계자로부터 초순수 공정 설명을 듣고 있다.

환경부와 한국환경산업기술원은 초순수 생산기술을 국산화하기 위해 ‘고순도 공업용수 국산화 기술 개발 사업’을 2021년 4월부터 추진해 왔다. 한국수자원공사를 포함한 민간 물 기업·학계 등 국내 물 전문가들이 연구에 참여했다.

환경부는 이달 SK실트론에 설치·운영하는 초순수 실증플랜트를 통해 설계·시공·운영 기술은 100%를, 핵심 기자재는 70%를 국산화해 반도체 공정에 국산 초순수를 공급하는데 성공했다. 이는 하루 최대 1천200톤의 초순수를 생산할 수 있는 규모다.

설계·시공 기술은 한성크린텍(초순수 플랜트)과 진성이앤씨(공급배관)가, 핵심 기자재는 삼양사(이온교환수지)·에코셋(자외선 산화장치)·세프라텍(탈기막)이, 운영 기술은 수자원공사가 맡았다.

SK실트론은 이달부터 2025년까지 국산 기술로 생산된 초순수를 24시간 연속 공급해 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼를 생산한다. 2025년 사업 종료 이후에는 실증플랜트 운영이 SK실트론에 이관돼 웨이퍼 생산에 계속 활용한다.

환경부 관계자는 “이번 성과를 계기로 그간 미국·일본 등 해외기업이 주도하던 초순수 시장에 국내기업이 진출할 수 있는 발판이 마련돼 반도체 산업뿐만 아니라 첨단 산업 경쟁력도 강화됐다”고 전했다.

박재현 물관리정책실장(왼쪽 네 번째)이 9일 SK실트론 구미2공장에서 열린 ‘초순수 국산화 실증플랜트 통수식’에서 참석자들과 함께 초순수 통수 밸브 개방을 위한 버튼을 누르고 있다.

SK실트론은 국산 기술로 생산한 초순수로 만든 SiC 웨이퍼를 국내 반도체 기업에 공급하고, 해외에 공급할 수 있게 됐다.

환경부는 그간 확보한 초순수 기술을 고도화하기 위해 2026년부터 2030년까지 추진할 후속 연구개발(R&D)을 준비하고 있으며, 2031년부터는 초순수 플랫폼센터를 구축해 초순수 기술개발과 인력양성에 더욱 박차를 가할 계획이다.

박재현 환경부 물관리정책실장은 “초순수 생산기술 국산화 성공은 반도체 산업 육성의 든든한 토대가 될 것”이라며 “앞으로도 반도체 산업단지의 안정적인 용수 공급과 함께 초순수 생태계 활성화를 위한 국산 기술력 향상과 민간 기업의 시장 진출을 적극 지원할 것”이라고 밝혔다.