한국산업기술시험원(KTL)은 지난 8일 한국중부발전과 한국과학기술원(KAIST)·한국물기술인증원과 반도체 생산공정에 사용하는 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약’을 체결했다고 밝혔다.
초순수는 반도체 표면에서 각종 부산물과 오염물 등을 세척하는 공업용수로 세계 시장 규모는 4조4천억원으로 추산된다.
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이들 기관은 협약에 따라 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막(MDG) ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치(UV-TOC) ▲초저농도 이온물질 제거용 이온교환수지(MBP) 등 초순수 공정 전반에 걸친 국산화 소재와 기자재 연구를 함께 수행한다.
KTL은 초순수 국산화 장비를 거쳐서 나온 용수 품질과 장비 성능 시험평가법 개발과 표준을 마련한다.
KAIST는 수처리 과정에서 배관 등 기자재에서 발생할 수 있는 용출 성능평가법 개발과 표준 마련을 추진한다.
물기술인증원은 용수·용출 성능평가법에 기반한 성능 인증제를 마련한다.
중부발전은 성능평가 시설 구축과 하루 2천400톤의 공업용수를 제공하는 등 초순수 생산기술 성능을 검증할 수 있는 여건을 제공한다.
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고영환 KTL 환경기술본부장은 “국가 핵심기술인 반도체 공정용 초순수 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석”이라며 “초순수용 설비 성능평가법 표준화와 함께 국산과 외산 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다”고 밝혔다.
KTL은 일본·미국·프랑스 등 일부 선진국에 의존해 온 초순수 생산기술을 자립화하면 수출규제와 글로벌 공급망 변화 대응력이 한 층 강화할 것으로 기대했다.