KTL, 반도체용 초순수 생산기술 국산화 박차

중부발전·KAIST·물기술인증원 공동 초순수 핵심설비 성능평가 방법 마련

한국산업기술시험원(KTL)은 지난 8일 한국중부발전과 한국과학기술원(KAIST)·한국물기술인증원과 반도체 생산공정에 사용하는 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약’을 체결했다고 밝혔다.

초순수는 반도체 표면에서 각종 부산물과 오염물 등을 세척하는 공업용수로 세계 시장 규모는 4조4천억원으로 추산된다.

김효전 KAIST 건설 및 환경공학과 박사, 고영환 KTL 환경기술본부장, 임승관 한국중부발전 보령발전본부장, 안성환 한국물기술인증원 기술연구실 부장(왼쪽부터)이 고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약을 체결한 후 협약서를 들어보이고 있다.

이들 기관은 협약에 따라 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막(MDG) ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치(UV-TOC) ▲초저농도 이온물질 제거용 이온교환수지(MBP) 등 초순수 공정 전반에 걸친 국산화 소재와 기자재 연구를 함께 수행한다.

KTL은 초순수 국산화 장비를 거쳐서 나온 용수 품질과 장비 성능 시험평가법 개발과 표준을 마련한다.

KAIST는 수처리 과정에서 배관 등 기자재에서 발생할 수 있는 용출 성능평가법 개발과 표준 마련을 추진한다.

물기술인증원은 용수·용출 성능평가법에 기반한 성능 인증제를 마련한다.

중부발전은 성능평가 시설 구축과 하루 2천400톤의 공업용수를 제공하는 등 초순수 생산기술 성능을 검증할 수 있는 여건을 제공한다.

박찬규 KTL 수소물융합기술센터장이 고순도 공업용수 국산화 기술개발 사업에 대해 설명하고 있다.

고영환 KTL 환경기술본부장은 “국가 핵심기술인 반도체 공정용 초순수 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석”이라며 “초순수용 설비 성능평가법 표준화와 함께 국산과 외산 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다”고 밝혔다.

KTL은 일본·미국·프랑스 등 일부 선진국에 의존해 온 초순수 생산기술을 자립화하면 수출규제와 글로벌 공급망 변화 대응력이 한 층 강화할 것으로 기대했다.