반도체용 초순수 국산화 박차…SK실트론에 실증플랜트 착공

환경부·수자원공사·환경산업기술원, 2025년까지 설계·운영 100%, 핵심 기자재 60% 국산화

정부와 산하기관·기업이 손잡고 반도체용 초순수 생산기술 국산화에 나선다.

환경부는 한국수자원공사·한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술을 국산화하기로 16일 경북 구미 SK실트론 생산공장에서 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’을 개최했다. 초순수는 초미세회로(나노미터)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는 데 사용하는 필수 공업용수다.

한정애 환경부 장관, 박재현 한국수자원공사 사장, 유제철 한국환경사업기술원장(왼쪽 네 번째부터)이 관계자들과 함께 반도체용 초순수 실증플랜트 착공을 기념하는 시삽을 하고 있다.

한정애 환경부 장관이 16일 구미시 SK실트론 공장에서 반도체용 초순수 실즐플랜트 착공 축사를 하고 있다.

환경부와 산하기관·업계는 이날 착공식을 시작으로 2025년까지 ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▲고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 공장 안에 설치해 해외기술과 국내기술을 직접 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있다.

수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2천400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영해 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심 기자재 60%를 국산화한다는 계획이다.

초순수에 불순물이 거의 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)를 유지해야 하는 최고 난도 수처리 기술이 필요하며 전 세계적으로 일부 선진국만이 초순수 생산기술을 보유하고 있다.

그간 국내 반도체 기업에서는 반도체용 초순수 생산과 공급을 일본·프랑스 등 해외기술에 의존해 왔다.

한정애 환경부 장관(맨 오른쪽)이 SK실트론 공장설비를 둘러보고 있다.

초순수 생산공정

2020년 글로벌 워터 인텔리전스 보고서에 따르면 반도체 외에도 전자·의약·철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도 공업용수 분야 세계 시장 규모는 2024년 23조원 규모로 성장할 전망이다. 이 가운데 반도체용 초순수 시장은 세계 약 4조4천억원, 국내 1조4천억원으로 추산된다.

한편 지난 5월, 정부는 2030년까지 510조 이상 투자해 반도체 제조 기술의 초격차를 이어가 종합반도체 강국으로 도약하기 위한 ‘한국형(K) 반도체 전략’을 발표한 바 있다.

환경부도 이 전략의 하나로, 반도체 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심 소재인 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 추진하고 있다.

한정애 환경부 장관은 “선진국 간 전쟁에 가까운 산업기술 패권 경쟁을 벌이는 현 상황에서 독자적인 기술경쟁력을 확보하지 못한다면 반도체 공급망에서 소외될 가능성이 있다”며 “반도체 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심 소재임에도 불구하고 일본·미국·프랑스 등 일부 선진국에만 의존하던 반도체용 초순수 생산기술의 자립을 위해 환경부가 앞장설 것”이라고 밝혔다.