환경부, 반도체 초순수 국산화 협의체 ‘킥오프’

환경산업기술원·수자원공사·한국물포럼 등 산·학·연·관 협력 개발

환경부가 반도체 초순수 국산화를 위한 첫발을 뗀다.

환경부는 한국환경산업기술원·한국물포럼과 함께 26일 경기도 과천 한국수자원공사 한강유역본부에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 개최한다.

이날 회의에는 이영기 환경부 물관리정책실장, 곽결호 한국물포럼 총재, 정경윤 한국수자원공사 기획이사, 김경호 한국환경산업 기술원 본부장을 비롯해 정부·공공기관·학계·산업계 관계자가 참석한다.

정부세종청사 환경부 전경

환경부는 지난달 29일 열린 ‘제13차 혁신성장 빅(BIG)3 추진회의’ 중점 추진과제 가운데 하나인 ‘반도체 초순수 생산 국산화 기술개발(2021년~2025년)’과 관련, 추진 과정 협력과 활성화 방안 등을 논의하기 위해 이번 회의를 마련했다.

‘반도체 초순수 생산공정 국산화 기술개발’은 일본 정부의 반도체 분야 수출규제에 대응하기 위해 환경부에서 지원하는 상용화 연구개발 사업이다. 5개 과제에 총 480억원을 투입하는 이 사업은 초순수 생산공정 국산화를 통해 해외 기술 의존을 벗어나고 국내 산업을 활성화하는 게 목표다.

핵심기자재 개발(유기물 자외선 산화장치, 용존산소 제거 탈기막)에 56억원, 2천400톤/일 규모 실증플랜트 구축에 337억원, 초순수 인증평가 및 검증체계 마련에 25억원, 반도체 폐수 재이용률 향상에 46억원을 투입한다.

영국의 물 전문 조사기관인 글로벌워터인텔리전스(GWI)에 따르면 초순수 시장(설계, 시공, 운영 등 모두 포함)은 2018년 기준 국내 시장과 세계시장이 각각 약 1조원과 19조3천억원 규모에서 2024년에는 각각 1조4천억원과 23조1천억원으로 성장할 전망이다.

국산화 기술개발과 실증화가 완료되면 국내 시장은 물론, 관련 물산업도 해외시장으로 확대될 전망이다.

반도체 초순수 생산공정. 자료=환경부

이날 회의에서는 환경산업기술원, 기술수요처, 수자원공사의 산업계 기술개발지원, 실증설비(플랜트) 구축 방안, 국산화 및 활성화 방안 소개와 산·학·연·관 등 관계자들의 심층 토론이 진행된다.

연구개발사업을 관리하는 환경산업기술원은 초순수 생산공정 국산화 기술개발사업 이행안(로드맵)과 과제별 지원계획을 제시한다.

최근 실증설비(플랜트) 부지 제공이 결정된 A사(기술수요처)는 실증설비 구축을 위해 부지 및 건축물 제공사항과 기술 국산화 이후 실제 플랜트에 적용할 계획과 정부·관계기관 협조 요청사항을 전달할 예정이다.

연구개발 수행을 총괄하는 수자원공사는 초순수 제품 국산화 외에 설계·시공·운영이 통합된 국산화 기술개발 필요성과 기술수요처 협업을 통한 초순수 산업 활성화에 대해 발표한다.

순수처리용 설비 제작업체인 씨제이케이얼라이언스는 국내 제품 개발 이후 사업화가 어려운 현 상황을 진단하고 성능검증 체계 마련 등 국산화와 사업화를 위한 과제를 제언한다.

송용권 환경부 물산업협력과장은 “반도체 초순수 기술개발을 통해 해외 기술·제품 의존을 벗어남과 동시에 관련 물산업 해외시장 진출 교두보를 마련할 계획”이라면서 “반도체 초순수 생산기술 국산화와 상용화 성공을 위해 연구개발 수행기관, 관련 산업계 등과 지속해서 긴밀하게 협의를 이어 나가겠다”고 밝혔다.