반도체 장비업체 세메스(대표 정태경)와 한국생산기술연구원(원장 이상목)이 반도체 제조기술에 AI 응용 기술을 적용해 생산성을 높인다.
세메스와 한국생산기술연구원은 지난 7일 천안사업장에서 관계자 20여명이 참석한 가운데 반도체 제조혁신을 위한 상생협력 업무협약(MOU)을 체결했다고 9일 밝혔다.
이번 협약은 양 기관간의 기술교류를 통한 개발과제의 사업화를 목표로 추진됐다. 세메스의 반도체 공정 데이터를 기반으로 △공동연구 △정보교류 △인력교류 등 상호협력 체계를 구축한다는 내용이다.
특히 개발이 시급한 단기개발 아이템과 중장기개발 아이템으로 구분해 운영할 방침이며, AI 제조기술을 첨단 반도체 장비의 고장모드 예측, 부품교체 주기, 구동시스템 등에 적용할 계획이다.
정태경 세메스 대표는 "첨단 반도체 공정에 AI 응용 기술을 접목해 설비의 신뢰성 확보 및 생산성 향상 등 제조혁신을 이루겠다"고 말했다.
