산업부, 네덜란드 ASM과 1억 달러 투자 협력 체결

반도체 증착 공정 장비 위한 제2생산공장 설립 및 연구개발센터 확장

산업통상자원부가 2일 서울시 한 호텔에서 네덜란드 반도체 장비기업인 ASM과 1억 달러 규모의 투자 협력 양해각서(MOU)를 체결했다.

ASM은 반도체 증착 공정에 쓰는 장비를 주로 생산한다. 증착 공정은 반도체 실리콘 원판(Wafer·웨이퍼)이 전기적 특성을 갖도록 다양한 물질로 박막을 입히는 과정이다. ASM은 네덜란드 노광 장비 기업 ASML의 모태가 된 기업이라며 원자층 증착(ALD) 장비 세계 1위 업체이다. 원자층 증착 장비는 웨이퍼에 원자 단위 깊이 산화막을 증착하는 장비다.

사진=이미지투데이

ASM은 원자층 증착 장비를 생산하는 제2공장을 한국에 신설하고 연구개발(R&D)센터를 증설할지 검토하고 있다. 계획하는 투자 규모는 2025년까지 1억 달러(약 1천200억원)다.

산업부는 ASM이 투자를 결정하면 국내 반도체 공급망이 안정되고 수출이 늘어날 것으로 기대했다. ASM에 투자 유인책을 제시하고 애로사항을 해소하기로 했다.

이창양 산업부 장관은 벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)에게 “ASM이 한국에 투자하면 반도체 장비 공급망이 확대되고 한국 반도체 기업과도 시너지 효과를 낼 수 있다”고 말했다.