ST마이크로, 싱가포르에 MEMS용 8인치 신규 라인 설치

ST마이크로일렉트로닉스는 A*STAR(싱가포르 과학기술청, 이하 A*STAR) 산하 마이크로일렉트로닉스 연구소(이하 IME)와 일본의 제조 툴 공급업체인 알박(ULVAC)과 협력해, ST의 기존 싱가포르 제조시설에 압전(Piezo) MEMS 기술에 주력하는 8인치(200nn) R&D 라인을 공동으로 설치 및 운영한다.

이번에 설치되는 8인치 생산 공정은 ST의 싱가포르 앙모키오(Ang Mo Kio) 캠퍼스 내에 새로운 클린룸 구역으로 구성되며, MEMS R&D와 공정 과학자 및 엔지니어를 비롯해 세 조직의 툴과 전용 인력을 유치할 예정이다.

IME는 압전 MEMS 디바이스 설계, 공정 통합, 시스템 통합에 대한 전문지식과 산업적 추진력을 기반으로 라인 개발에 기여하게 된다. IME는 최첨단 툴도 제공해 제품의 생산과정까지 한 장소에서 원활하게 모든 플로우를 유지하도록 돕게 된다.

새로운 R&D 라인은 기존의 ST 인력 활용도 가능하다. 같은 캠퍼스 내에 위치한 ST 웨이퍼 팹을 통한 규모의 경제 혜택을 얻을 수 있을 것이다. 이 LiF 시설은 2021년 2분기에 첫 번째 웨이퍼를 생산하고 2022년에 대량생산이 가능하도록 준비 및 운영될 전망이다.