다우케미칼 전자재료사업부는 첨단 소재를 도입한 화학기계적(CMP) 연마패드 아이코닉(IKONIC) 시리즈 신제품인 ‘2020H’ 및 ‘3040M’을 출시했다고 31일 밝혔다.
아이코닉 CMP 연마패드는 28나노미터(nm) 제조 노드 및 그 이하 노드에서 사용할 수 있도록 설계됐다. 아이코닉2000은 구리배리어, 하이케이메탈게이트(HKMG) 및 버핑 애플리케이션에서, 아이코닉3000 연마패드는 벌크 구리 연마에서 사용할 수 있도록 개발됐다.
아이코닉 2020H는 연마율을 유지하면서도 결함 수준이 기존 패드보다 낮출 수 있다. 아이코닉2000 시리즈의 모든 패드는 최적의 패드표면을 위한 컨디셔닝을 쉽게 하면서도 수명을 늘려 연마성능의 지속성을 향상시키고 비용을 절감시킬 수 있도록 한다.
IKONIC 3040M은 다른 벌크 구리 연마패드에 비해 스크래치 결함에 강하며 토포그래피(topography) 성능 개선 및 비용 절감의 목적을 달성할 수 있도록 했다.
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다우케미칼은 현재 다양한 고객사들에게 샘플을 공급하며 베타테스트도 진행 중이다.
콜린 카메론 다우전자재료 CMP 글로벌 마케팅 이사는 “아이코닉 플랫폼은 유연성 높은 설계 밀도를 사용해 화학소재의 독특한 조합을 만들어 냄으로써 고객사들에 맞춤화된 솔루션을 공급할 수 있다”면서 “아이코닉 연마 패드에 사용된 새로운 기술은 최첨단 공정에서 끊임없이 요구되고 있는 고객사의 최첨단 기술적 요건들을 지원할 것”이라고 말했다.
