탑엔지니어링, LED 핵심장비 국내 공급 개시

LCD 및 LED 공정장비 전문기업 탑엔지니어링(대표 김원남, 류도현)이 발광다이오드(LED) 생산용 핵심장비인 유기금속화학증착장비(MOCVD) 개발을 완료하고 산업기술대학교에 첫 장비를 공급한다고 29일 밝혔다.

MOCVD는 사파이어웨이퍼에 단결정 폴리실리콘막을 증착시켜 LED의 주 재료인 에피웨이퍼를 만드는데 사용되는 장비다. 전체 장비 투자액 가운데 절반 가량을 차지하는 핵심 장비임에도 지금까지 독일의 액시트론(Axitron)과 미국의 비코(Veeco) 두 회사만이 공급해 왔다.

탑엔지니어링은 지난 2010년 LED 생산 핵심장비인 MOCVD 개발을 완료했으며 올해 초 고온공정이 수반되는 UV LED에 대응할수 있는 특수 MOCVD의 개발을 완료했다.이번에 공급된 장비는 UV LED 칩 제조에 사용되는 UV용 MOCVD로 2인치 사파이어웨이퍼 6장을 담을 수 있다. UV용 MOCVD 개발 및 공급은 국내에서는 처음 이뤄졌으며 탑엔지니어링은 대학, 연구기관들에 추가 납품을 협의 중에 있다. 최근 LED 투자가 활발히 이뤄지는 중국 LED 업체들과도 접촉을 진행 중이다.

탑엔지니어링 측은 “다이본더, LED디스펜서, 테이핑머신 등 기존 LED 생산 패키징 장비 뿐만 아니라 핵심공정인 MOCVD, 에쳐, PECVD 공급이 가능해 LED 장비 토탈 솔루션을 제공할 수 있게 됐다”면서 “수익성이 높은 신형 LED 장비의 개발을 통해 LED 장비 시장에서 경쟁력을 확보할 것”이라고 말했다.