신성이엔지, 'SEDEX 2026'서 클린룸 공정 특화 라인업 공개

수가습시스템·EDM·ICF·OAC 등 토탈 솔루션 전시

신성이엔지가 14~16일 서울 강남 코엑스에서 열리는 'SEDEX 2026(반도체대전)'에서 반도체·디스플레이 클린룸 통합 솔루션을 전시한다고 13일 밝혔다. 온·습도 제어부터 오염 관리, 미세 파티클 진단까지 공정 환경 전반을 담당하는 장비다. 출품 제품은 ▲수가습시스템 ▲EDM ▲ICF ▲OAC 등 클린룸 공정 특화 라인업이다.

신성이엔지 SEDEX 2026 부스 조감도(사진=신성이엔지)

수가습시스템은 클린룸 내부 습도를 조절하는 가습 시스템이다. 압축공기로 물을 유도하고 충돌시켜 기화하는 방식이다. 클린룸에 필요한 습도를 안정적으로 유지하면서 에너지 효율을 높인 것이 특징이다. 수가습 외기공조시스템을 적용하면 증기가습 외기공조시스템 대비 전체 소비 전력량을 30% 줄일 수 있다. 

EDM은 소형 데시칸트 휠을 적용한 제습 설비로, 정밀 공정에 필요한 저습도 환경을 구현한다. 가습과 제습을 아우르는 습도 제어 라인업으로 공정별 요구 조건에 맞춘 대응이 가능하다. 

케미컬필터 내부 삽입형 팬필터유닛(FFU)인 ICF도 전시한다. 별도 설치 공간이 필요 없어 작업자 동선 확보에 유리하다. 클린룸 양압과 온·습도를 유지하면서 외부에서 유입되는 오염된 공기를 정화해 공급하는 OAC도 선보인다.

신성이엔지 관계자는 "반도체 공정이 고도화될수록 클린룸 습도와 청정도, 오염 관리 수준이 제품 경쟁력을 결정한다"며 "이번 전시에서 습도 제어부터 오염원 진단까지 클린룸 공정 환경 전반을 책임지는 신성이엔지의 기술력을 현장에서 직접 확인할 수 있다"고 말했다.

신성이엔지는 미국·유럽·중국·동남아·인도 등에 법인을 두고 현지 반도체 고객 대응력을 높이며 해외 사업을 확대하고 있다. 지난 9월 싱가포르에서 열린 '데이터센터 월드 아시아 2026'에서 인공지능(AI) 데이터센터 냉각 솔루션을 선보였다. 이번 반도체대전에서는 클린룸 공정 솔루션을 전면에 내세우고 반도체와 데이터센터 양 축에서 글로벌 고객 접점을 넓힐 계획이다. 

신성이엔지 관계자는 "반도체와 데이터센터 양 분야에서 쌓은 기술 경쟁력을 바탕으로 글로벌 시장 공략에 속도를 내겠다"고 밝혔다.