HPSP "삼성에 납품한 장비 영상 추가 제출해야" vs. 예스티 "두 장비 구조 같아 불필요"

13일 서울중앙지법 침해소송 변론기일서 맞서...다음달 마지막 변론기일

반도체 공정용 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허분쟁 중인 HPSP가 "예스티는 삼성전자에 납품한 장비 동영상을 추가로 제출해야 한다"고 주장하자, 예스티는 "이미 제출한 다른 동영상 속 장비와 하부 구조가 같아 불필요하다"고 맞섰다. HPSP는 "예스티가 HPSP 특허를 침해하지 않았다고 판단한 (지난 6월) 특허법원 판결은 잘못됐다"고 주장했고, 예스티는 "특허법원 판결을 원용해달라"고 밝혔다. 지난 6월 특허법원은 HPSP의 특허가 유효하다면서도, 예스티는 해당 HPSP 특허를 침해하지 않았다고 판결한 바 있다. 

HPA 장비는 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. HPSP가 과거 이 시장을 독점했지만, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입했다. 

13일 서울중앙지방법원에서 열린 변론기일에서 HPSP는 "예스티가 삼성전자에 납품한 '30S'(HPA 장비) 동영상을 추가 제출해야 한다"며 "(30S가) 제대로 동작 중이라면 회전체결링 기술을 사용했을 것이고, 회전체결링 기술을 사용하지 않았다면 제대로 작동되지 않을 것"이라고 주장했다. 또, "회전체결링 기술을 직접 사용하지 않았더라도 회전체결링에 대응하는 것(기술)이 존재할 것"이라며 "이 경우 균등침해가 성립할 수 있다"고 주장했다. 

HPSP는 HPA 장비에서 회전체결링이 하우징과 도어 사이 닫힘 상태를 견고하게 유지한다고 밝혀 왔다. 회전체결링이 하우징 외측에 설치돼, 회전 동작에 따라 걸림돌기들을 서로 맞물리게 만들어 내부 고압에 의해 도어가 이탈하는 것을 막는다고 설명해왔다. HPSP는 예스티가 회전체결링 기술을 무단 사용했다고 주장해왔지만, 예스티는 해당 회전체결링 기술을 사용하지 않는다고 맞서 왔다. 

예스티는 지난 3월 고압수소어닐링 장비를 처음 출하했다고 밝혔다. (사진=예스티)

HPSP는 "피고(예스티)가 회절체결링 기술을 사용한 제품을 제조, 납품한 것으로 알고 있다"며 "피고가 회전체결링 관련 제품을 생산하거나 생산할 의사가 없다는 확인서를 피고 측 책임자로부터 받으면 최종 확인할 수 있다"는 내용도 덧붙였다. 

HPSP가 동영상을 추가 공개해야 한다고 밝힌 '30S'는 예스티가 지난 3월 보도자료에서 "글로벌 반도체 위탁생산(파운드리) 업체에 공급했다"고 밝힌 75매 HPA 장비다. 당시 예스티가 언급한 글로벌 반도체 파운드리 업체가 삼성전자다. 

예스티는 법원에 '30L' 장비 동영상을 제출했다. 이 장비는 예스티가 보도자료에서 "또 다른 글로벌 반도체 기업으로부터 수주했다"고 밝힌 125매 HPA 장비다. 'S'는 쇼트(short), 'L'은 롱(long)을 뜻한다. 75매와 125매 등은 HPA 장비가 한 번에 최대로 처리할 수 있는 웨이퍼 수를 말한다. 

예스티는 "이미 법원에 30L 동영상을 제출했다"며 "두 장비(30L과 30S) 하부 구조는 동일하다"고 밝혔다. 예스티는 "원고(HPSP) 측에서 (예스티가) 회전체결링 기술을 사용했다고 주장하려면 증거를 제시해야 하는데, 증거가 없다"며 "(HPSP 특허를 침해하지 않았다고 판단한) 특허법원 판단을 원용해달라"고 요청했다.

다음 변론기일은 다음달 중순 열린다. 이날이 마지막 변론기일이다.

앞서 지난 6월 특허법원은 이번 특허침해소송에 사용된 특허 1건(반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치, 등록번호 1553027, 아래 '027 특허)에 대해 유효하다는 판결과, 예스티가 HPSP 특허를 침해하지 않았다는 판결을 각각 내렸다.

'027 특허는 HPSP가 예스티를 상대로 2023년 8월 서울중앙지방법원에 첫 번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허다. 전체 분쟁에서 가장 중요한 기술이다.

특허법원이 '027 특허가 유효하다고 판단했지만, 특허심판원 정정심판을 거치며 '027 특허는 권리범위가 좁혀졌다. 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 클 때 특허권자가 사용하는 절차다. 예스티는 정정심판 결과에 대해 불복 절차를 밟지 않았다.

지난 6월 특허법원 판결에 대해 양쪽이 모두 상고하지 않으면서 특허법원 판결은 7월 확정됐다. 

한편, 예스티는 HPSP가 첫 번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허 1건('027 특허) 외에, HPSP의 또 다른 특허 5건을 상대로도 특허심판원에 무효심판과 소극적 권리범위확인심판 등을 청구했다. 

예스티는 지난 5월 특허심판원에서 HPSP의 또 다른 특허 '고압가스 열처리를 위한 방법 및 장치'(등록번호 0766303)에 대해 무효라는 판단을 받았다. HPSP는 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 이 특허는 HPSP가 예스티를 상대로 두 번째 특허침해소송을 제기하며 사용한 특허다. 

나머지 특허 4건에 대한 분쟁은 모두 끝났다. 소극적 권리범위확인심판 2건은 예스티와 HPSP가 서로 다른 기술을 사용 중이란 점을 서로 인정하면서 각하됐다. 무효심판 2건에선 HPSP가 특허를 정정하면서 권리범위가 축소됐고, 무효심판은 기각됐다.