예스티, HPSP 특허 1건 무효화...고압수소어닐링 장비 기술

특허심판원, 28일 심결

예스티가 HPSP 특허 1건을 무효화했다. 해당 특허는 HPSP가 예스티를 상대로 두 번째 특허침해소송을 제기하며 사용한 특허다. 

두 업체는 고압수소어닐링(HPA) 장비 시장을 놓고 특허분쟁 중이다. HPSP가 과거엔 이 시장을 독점했지만, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입했다. 지난 3월 예스티는 고압수소어닐링 장비 첫 출하식을 열었다. 

29일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 28일 HPSP의 '고압가스 열처리를 위한 방법 및 장치' 특허(등록번호 0766303, 아래 303 특허)가 무효라고 판단(심결)했다. 

예스티가 지난 2023년 12월 303 특허의 청구항(권리범위) 1~7항, 9~37항, 39~40항이 특허성이 없다며 무효심판을 청구했는데, 이번에 특허심판원이 받아들였다. 이 특허는 고압수소어닐링 장비 이중벽 구조를 설명하고 있다. 

(사진=예스티)

예스티 관계자는 "HPSP가 해당 특허를 유지하기 위해 무효심판 과정에서 특허를 5차례 정정하면서 예스티 제품 구조, 그리고 작동방식과 전혀 다른 특허가 됐다"고 밝혔다. 이어 "권리범위가 당초 이중벽 구조 관련 기술에서 가스배출 관련 기술로 축소됐지만 결국 무효가 됐다"고 덧붙였다. 

HPSP가 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있지만, 당장 303 특허에 대해선 예스티가 유리한 고지를 점했다. 특허가 최종 무효가 되면, HPSP가 제기한 두 번째 특허침해소송을 진행할 필요가 없다. 

두 업체 분쟁에서 가장 중요한 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027, 아래 027 특허)다. HPSP가 예스티를 상대로 2023년 8월 서울중앙지방법원에 첫 번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허가 027 특허 1건이다. 

6월 중순 027 특허에 대한 특허법원 판결이 나온다. 앞서 특허심판원은 027 특허 무효심판에선 유효라고 판단했고, 소극적 권리범위확인심판(비침해 주장)에선 예스티가 해당 특허를 침해하지 않았다고 판단한 바 있다. 양측은 각각 특허법원에 항소했다. 특허법원 판결 내용은 서울중앙지법에 접수된 첫 번째 특허침해소송에도 영향을 미친다. 

예스티는 지난 2023년 HPSP가 첫 번째 특허침해소송을 제기하자, 소송에 사용된 027 특허를 포함해 HPSP의 특허 6건을 상대로 무효심판과 소극적 권리범위확인심판 등을 청구했다. HPSP가 추가 특허침해소송을 제기할 가능성이 있다고 봤기 때문이다. 

특허법원 판단을 기다리고 있는 027 특허, 그리고 이번에 특허심판원이 무효라고 판단한 303 특허 외에 다른 HPSP 특허 4건에 대한 특허심판원 판단은 확정됐다. 나머지 특허 4건에 대해 특허심판원은 예스티 제품과 무관한 기술이라는 등의 판단을 했고, 양측은 불복하지 않았다. 전체 특허분쟁에선 예스티가 앞서 있다. 

고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화막 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. 과거 이 시장은 HPSP가 독점했지만 지난해 말 예스티의 진입으로 독점이 깨졌다. 지난달 특허법원에서 열린 027 특허 관련 소송 변론기일에 HPSP는 준비서면을 통해 "삼성전자와 SK하이닉스, TSMC 등 유수 기업에 장비를 납품하고 있으므로, 이 사건 특허발명이 원고(HPSP)의 고압수소어닐링 장비 경쟁력에 기여했고, 이를 통해 기술력을 인정받았다"고 밝히기도 했다.