예스티, 고압수소어닐링 장비 첫 출하..."글로벌 반도체 시장 본격 진입"

"75매 장비 글로벌 고객사 공급...양산 테스트 돌입"

예스티가 고압수소어닐링(HPA) 장비를 글로벌 반도체 기업에 첫 출하했다. 

그간 이 시장은 HPSP가 독점해왔다. 지난해 12월 예스티가 2026년 글로벌 반도체 업체 2곳에 고압수소어닐링 장비를 공급할 것이라고 밝히면서 HPSP 독점이 사실상 깨졌다. 

23일 예스티는 "반도체 기업에 양산 테스트를 위한 75매 고압수소어닐링 장비를 출하했고, 해당 고객 공장에 인도(팹인)했다"고 23일 밝혔다. 이어 "그간 해당 고객사와 다양한 평가를 거쳐 양산 테스트를 위한 공동개발 프로젝트(JDP) 계약을 체결했다"며 "이번에 공급하는 장비는 고객사 생산라인에서 양산에 적용한다"고 덧붙였다. 

예스티는 "고압수소어닐링장비 시장에서 경쟁력을 입증했다는 점에서 의미가 크다"고 자평했다. 

예스티가 고압수소어닐링(HPA) 장비를 글로벌 반도체 기업에 첫 출하했다고 23일 밝혔다. (사진=예스티)

예스티는 지난해 12월 "2026년 2월 전, (중략) 글로벌 반도체 기업에 양산 테스트용 첫 장비를 공급한다"고 밝힌 바 있다. 해당 고압수소어닐링 장비를 이번에 출하한 것이다. 

예스티는 "또 다른 글로벌 반도체 기업으로부터 125매 고압수소어닐링 장비를 수주했고, 8월 납품할 예정"이라며 "이번 75매 장비 공급까지 더해지며, 메모리와 파운드리를 아우르는 전 영역 고객군을 확보했다"고 설명했다. 

이번에 장비를 공급하는 고객은 파운드리 업체, 8월 납품 예정인 고객은 메모리 업체다. 

예스티는 "첫 장비 공급과 수주 성과를 바탕으로 2026년부터 고압수소어닐링 장비가 실적에 본격 반영될 것"이라며 "현재 여러 글로벌 고객과 다양한 공정 적용을 위한 논의와 테스트 중"이라고 밝혔다. 

예스티는 "지난 2020년부터 자체 보유한 정밀 열·압력 제어 기술을 바탕으로 고압수소어닐링 장비를 개발해 왔다"며 "기존 장비보다 뛰어난 성능과 높은 생산성을 무기로, 그간 특정 업체가 독점했던 고압수소어닐링 장비 시장 판도를 바꿀 것"이라고 기대했다.

예스티는 "차세대 장비인 고압산화공정장비(HPO) 상용화도 속도를 내고 있다"고 밝혔다. 이어 "알파기로 최적 공정 조건을 확보했고, 최근 국책과제로 양산기 제작까지 마쳤다"며 "글로벌 고객들과 평가 작업이 활발해, 조만간 가시적 성과가 나올 것"이라고 기대했다.