도쿄일렉트론, 엔비디아와 에이전틱 AI·로보틱스 기술 강화

'엡시라'에 엔비디아 에이전트 툴킷·로봇 개발 플랫폼 접목

글로벌 반도체 장비기업 도쿄일렉트론(TEL)이 엔비디아 솔루션 도입으로 반도체 제조 현장의 생산성과 장비 안정성을 한층 강화한다.

도쿄일렉트론은 에이전트형 AI 및 로보틱스 솔루션 개발의 일환으로 엔비디아와 협력을 확대한다고 20일 밝혔다.

도쿄일렉트론의 디지털 전환(DX) 솔루션 콘셉트 엡시라(Epsira)(사진=도쿄일렉트론)

도쿄일렉트론은 디지털 전환(DX) 솔루션 콘셉트 '엡시라(Epsira)'에 엔비디아의 다양한 기술을 접목한다. 구체적으로 엔비디아 니모(NVIDIA NeMo), 엔비디아 NIM(NVIDIA NIM), 엔비디아 니모클로(NVIDIA NemoClaw) 청사진을 포함한 엔비디아 에이전트 툴킷(NVIDIA Agent Toolkit)과 오픈형 로봇 개발 플랫폼인 엔비디아 이삭(NVIDIA Isaac)을 활용한다.

도쿄일렉트론은 엔비디아 이삭 플랫폼을 활용해 엔비디아 옴니버스(NVIDIA Omniverse) 라이브러리와 통합된 디지털 트윈에 설계 데이터를 반영해 시뮬레이션을 수행할 수 있다.

로봇 유지보수는 각기 다른 다양한 장비 구성에 맞춰 이뤄져야 하는 만큼, 디지털 트윈을 활용하면 로봇의 학습 속도와 정확도를 크게 높일 수 있게 된다. AI 에이전트의 경우, 니모는 에이전트의 학습·튜닝·평가를 가속화하고, 니모클로는 보다 원활한 운영과 안전한 에이전트 배포를 지원한다.

도쿄일렉트론의 엡시라는 고객사 생산성 향상에 초점을 맞춘 솔루션이다. AI 기반 습식 세정 주기 연장(MTBWC) 분석, 로보틱스 유지보수, AI 문제 해결 분석 등을 통해 현장 생산 효율과 수율을 높이고, 계획된 다운타임과 예기치 못한 다운타임을 모두 줄여 장비 가동률을 극대화한다.

엡시라는 데이터 활용을 통해 고객사에 향상된 생산성과 별도 숙련이 필요 없는 운영 환경을 제공하는 디지털 전환 인프라다. 변동성을 최소화하고 장비 안정성을 높여 궁극적으로 자율화된 장비 운영을 지향한다.

도쿄일렉트론은 엔비디아와의 긴밀한 협업을 지속해 최첨단 기술과 신뢰할 수 있는 서비스 및 지원을 지속 제공한다는 계획이다.

마츠시마 케이이치 도쿄일렉트론 기업 개발 부문 부사장 겸 총괄(GM)은 "AI 시대를 선도하는 글로벌 기업 엔비디아와의 협력이 한층 더 깊어진 것을 기쁘게 생각한다"며 "이번 협력 강화를 통해 로보틱스 유지보수와 AI 문제 해결 분석을 바탕으로 제조 역량을 강화하고, 도쿄일렉트론의 엡시라를 한 단계 더 발전시켜 고객사의 생산성을 높여 나갈 것"이라고 말했다.