램테크놀러지, 초고순도 불화수소 정제법·장치 개발

초고순도 불화수소 양산 기대…당진공장 증설 계획

반도체 소재 기업 램테크놀러지는 22일 초고순도 불화수소를 생산하기 위한 정제법과 장치를 개발했다고 밝혔다.

램테크놀러지는 지난 10월 1일 초고순도 불화수소 생산과 관련된 특허를 등록했다. 기존에 형석(CaF2·플루오린화칼슘)을 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막 분리법 등으로 정제해야 했지만 이런 과정을 건너뛰어 공정과 비용을 줄일 수 있다고 강조했다.

반도체 기판인 실리콘 웨이퍼 표면 불순물을 씻어내는 세정 공정과 웨이퍼를 회로대로 깎아내는 식각 공정 등에서 초고순도 불화수소를 쓴다.

SK하이닉스 청주 반도체 생산 공장(사진=SK하이닉스)

램테크놀러지 관계자는 “불산에 불순물이 남으면 반도체 공정에 영향을 미친다”며 “조금의 불순물까지 없애야 한다”고 말했다. 그러면서 “불화수소를 정제해 반도체용 불산 제품의 단일 금속 불순물 농도를 1조분의 1(1ppt) 이하로 맞추는 게 목표”라고 설명했다.

램테크놀러지는 충남 당진 신규공장 증설을 추진하고 있다.

한편, 일본 정부는 2019년 7월 반도체·디스플레이 핵심 소재 3가지를 한국에 수출하지 않겠다고 발표했다. 일본 정부는 초고순도 불화수소와 감광액(PR·포토레지스트), 불화폴리이미드(플루오린폴리이미드) 수출을 막았다.