ACM 리서치, LPCVD 장비로 국내 시장 공략

글로벌 장비업체 ACM 리서치가 저압 화학 기상증착 장비로 국내 시장 공략에 나선다.

11일 ACM 리서치는 건식 공정용 저압 화학 기상증착(LPCVD) 장비 '울트라 퍼니스(Ultra Furnace)' 개발을 완료하고, 이를 중국 반도체 기업에 공급했다고 밝혔다. ACM 리서치는 삼성전자와 SK하이닉스에도 LPCVD 장비 공급에 나서겠다는 방침이다.

김영율 ACM 리서치 코리아 대표는 "울트라 퍼니스 제품은 차별화된 기술 개발을 위한 중국과 한국의 우수한 전문가들이 협업한 결실"이라며 "한국의 ACM 팀은 세계적인 상하이 팀의 역량을 보완하고, 시장 진출 시간을 앞당기며 국내 고객들에게 뛰어난 기술 지원을 제공하기 위해 설립됐다"고 전했다.

ACM 리서치가 개발을 완료한 건식 공정용 건식 화학 기상증착 장비 '울트라 퍼니스'. (사진=ACM 리서치)

울트라 퍼니스는 최대 100장의 12인치(300밀리미터) 웨이퍼 배치 공정이 가능하도록 설계된 것이 특징이다.

특히, 일부 구성 요소와 레이아웃을 변경하면 다른 공정(산화공정, 열처리 공정, 원자층증착 공정 등)에도 적용이 가능하다는 게 회사 측 설명이다.

ACM 리서치 측은 "울트라 퍼니스는 이론상 하드웨어 구성의 약 85%가 그대로 유지되기 때문에 새로운 제품 적용을 위해 프로그램을 효율적으로 변경할 수 있다"며 "공급과 관련해 우선 중국 내 고객을 목표로 하고, 이후 한국과 대만으로 확대해 나갈 계획"이라고 전했다.