SKC, 반도체용 하이엔드급 블랭크마스크 연내 양산

정승일 산업부 차관, SKC 방문…“소부장 정책성과 가속화” 강조

반도체ㆍ디스플레이입력 :2020/04/20 07:21

SKC는 일본 의존도가 90% 이상인 불화아르곤(ArF)용 등 하이엔드급 블랭크 마스크(Blank Mask) 시제품을 생산해 국내 수요기업과 테스트를 거쳐 하반기 본격 양산 예정이라고 20일 밝혔다.

블랭크 마스크는 회로 패턴을 그리기 전 포토마스크 원판(석영유리에 금속막·감광막 등을 도포해 제조한다. 블랭크 마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF, 248nm), ArF(193nm), EUV(극자외선, 13.5nm)용으로 구분하며 통상 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.

반도체 공정의 핵심소재인 블랭크 마스크가 양산 되면 국내 공급안정성이 개선될 전망이다.

SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 블랭크마스크 신규공장을 지난해 말 완공하고 이번 양산 품목보다 첨단제품을 2021년 양산 목표로 개발 중이다.

(사진=SKC)

정승일 산업통상자원부 차관은 20일 오전 SKC의 블랭크마스크 공장(천안)을 방문, 소부장 정책성과 가속화를 강조할 예정이다.

정 차관은 먼저 SKC의 블랭크 마스크 국산화를 위한 임직원의 노고에 감사를 표시하고 그간 정부의 소부장 정책성과를 설명한다.

일본 수입 상위 20대 품목은 2021년 공급안정성 확보 목표로 국내생산 확대, 기술개발(2019년 추경 650억원, 2020년 1천165억원), 수입국 다변화 등을 계획대로 추진 중이다.

산업부는 일본 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 금년 중 완전한 공급안정화를 달성할 계획이다. 또 나머지 80대 품목 중심으로 금년 R&D 지원(1조2천억원)을 추진 중이며 공급선 다변화 등을 통해 기본적 공급안정성을 확보할 계획이다.

이용선 SKC 부사장은 “정부가 신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입 장비 할당관세 적용과 정부 R&D 등을 적기 지원해 준 것에 대해 감사”를 표하고 국내 기업이 소부장 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 소부장 협력모델에 대한 정부의 관심과 지원을 요청했다.

산업부는 소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다고 보고 조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2천100억원 이상을 집중 지원할 계획이다.

한편, SKC는 종합 소재전문 기업으로 그간 디스플레이용, 포장용 등 다양한 산업용 필름을 생산해왔고 자동차 등 산업의 첨단 고부가 소재 기술 개발에도 박차를 가하고 있다.

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일본의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드 개발에 850억원을 투자, 지난해 말 완공된 새 공장에서 시제품을 생산 중이다.

또 지난 1월에는 글로벌 동박(전기차 배터리 소재) 제조업체인 KCFT를 1조2000억원에 100% 인수하고 전북 정읍 제5공장 증설에 1천200억원을 투자했다.