탑엔지니어링, 스테이지 청소장치 특허 취득

탑엔지니어링은 '스테이지 청소장치'에 대한 국내 특허를 취득했다고 18일 밝혔다.

탑엔지니어링 관계자는 "해당 특허는 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 완벽하게 쓸어서 청소할 수 있다는 이점이 있다"며 "이물질을 제거하는 메시부재의 단부가 뽀죡하지 않아 스테이지의 손상을 방지하고, 메시부재를 수지로 구성해 외력이 작용하지 않는 경우 스스로 변형되는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.