ASML, EUV 노광장비 15대 공급계약 체결

인텔 유력…연내 2대 설치

세계 최대 반도체 제조장비업체인 ASML은 미국의 주요 반도체 제조사 한 곳과 최소 15대 이상의 극자외선(EUV) 노광장비 공급 계약을 맺었다고 23일 밝혔다.

EUV 노광장비는 초미세공정과 멀티플 프로세싱 단계를 구현하기 위해 필요한 장비로, 같은 면적 안에 더 많은 트랜지스터를 집적할 수 있다. 전체 생산품 대비 양품 비율인 수율을 높여주고 생산 효율을 높이기 위한 주기(사이클 타임)을 단축시켜 준다. 앞서 대만 TSMC가 NXE:3350B 2대를 ASML로부터 공급 받기로 발표한 바 있다.

ASML은 네덜란드 소재 장비업체로 인텔과 삼성전자, TSMC 등이 지분을 보유하면서 투자를 지원하고 있다. 로이터통신 등 주요 외신들은 주요 관계자를 인용해 이번 계약 대상이 바로 인텔이라고 보도했다. 실제로 미국계 반도체 제조사 중 초미세공정 등 EUV 노광장비가 필요한 업체는 사실상 인텔 밖에 없다.

ASML은 우선 올 연말까지 2대를 생산라인에 설치하고 추후 나머지 공급을 진행할 계획이다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “이제 EUV 노광 시스템은 양산 과정 도입 단계에 들어섰으며, 이러한 반도체 산업의 새로운 혁신을 발판 삼아 EUV의 장기적 계획과 에코시스템에 대한 준비도 순조롭게 진행되고 있다”며 “EUV 노광 시스템에 대한 ASML의 노력은 EUV의 계획 범주를 넓히고 EUV에 대한 자신감을 증진시키는 데 큰 역할을 하고 있다”고 밝혔다.