인테그리스, 반도체 최적화 분사 시스템 출시

반도체 소재·솔루션 기업 인테그리스는 반도체 및 전자 산업용 중점도 액체분사 시스템 제품군인 인텔리젠MV 신제품을 출시한다고 4일 발표했다.

인텔리젠 MV는 기존 인텔리젠 미니 및 인텔리젠 HV 분사 시스템에 3D 반도체 및 미세전자제어시스템(MEMS) 응용 분야에 최적화된 솔루션을 결합해 중점도 액체 분사 분야에서 고순도 여과 기술과 재현성을 보장하는 솔루션이다.

인텔리젠 MV 분사 시스템은 소형 설계 덕분에 트랙 하나에 여러 대를 설치할 수 있으며 100~300cP에 이르는 다양한 포토 케미컬을 동시에 처리해 필터의 여과 성능을 극대화하고 장비의 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있도록 한다.

인테그리스 토드 애덜런드 최고 운영 책임자는 3D 반도체와 MEMS(미세전자기계시스템) 기술이 발전함에 따라 복잡해진 공정에 맞는 고속 처리량과 고순도 여과 기능을 요구하는 제조업체가 늘어나는 추세라며 인텔리젠 MV 중점도 액체 분사 시스템은 새롭고 다양한 진단 및 감지 기능을 통해 불량률을 줄이고 레시피 프로그래밍을 단순화하며 액체 여과 필터의 프라이밍 속도를 개선해준다고 말했다.

한편 인테그리스는 인텔리젠 MV 분사 시스템을 비롯해 다양한 기상, 액상에 대한 오염 제어 및 웨이퍼 오염제어 솔루션은 6일까지 코엑스에서 열리는 세미콘 코리아 2015 전시회에 시연된다고 밝혔다.