어플라이드, 태양전지 웨이퍼 검사 장비 출시

반도체·디스플레이 장비 업체 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 20일 '제8회 SNEC 국제 태양광 박람회'에서 태양전지 생산비용을 절감하고 수율을 개선할 수 있도록 해주는 자동화 검사장비인 '어플라이드 베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템'을 선보였다고 밝혔다.

어플라이드 베리셀 검사 시스템은 100% 자동화로 수동 검사의 품질관리 한계를 해결한 것이 특징이다. 또 다중인식기능 및 최첨단 소프트웨어 알고리즘과 결합된 광루미네센스(PL, photoluminescence) 기술을 활용해 0.15% 미만의 오차로 전지의 효율을 예측할 수 있도록 했다.

베리셀 시스템에 통합된 다중인식모듈은 웨이퍼의 두께, 변화, 경사와 저항력 등과 같은 변수를 측정해 생산공정에서 톱니 자국, 깨진 가장자리, 얼룩, 미세 균열 등 결함이 있는 웨이퍼를 탐지해 이를 제거할 수 있도록 해준다.어플라이드머티어리얼즈는 수율 관리 소프트웨어를 함께 제공해 실시간으로 데이터를 수집, 통합 및 분석해 전체 생산 라인을 신속하게 파악하고 수율에 영향을 미치는 과정을 최적화 시킬 수 있도록 했다.

짐 멀린 어플라이드머티어리얼즈 에너지 환경 솔루션 그룹 태양광 제품 부문 부사장은 베리셀 시스템을 통해 들어오고 나가는 웨이퍼의 품질을 효율적으로 추적할 수 있고 실시간으로 수율을 최적화 할 수 있다며 태양광발전(PV) 산업에서 제조 수율을 제어하는 것이 중요한 문제가 되는 가운데 베리셀 시스템은 수율 예측과 수익성 증가를 가능하게 해준다고 말했다.