산화물(Oxide) 방식의 박막트랜지스터(TFT)와 관련된 특허 출원이 활발하다. 산화물 TFT는 기존 아모퍼스스실리콘(a-Si) TFT에 비해 해상도를 높이고 전력 소모를 줄일 수 있는 장점이 있다.
특히 산화물 TFT는 디스플레이 소자를 필요에 따라 빛을 투과시키는 투명 유리창으로 전환할 수 있게 해주는 투명 디스플레이 구현을 위한 기반기술이 되기도 한다. 산화물 TFT 관련 특허는 삼성디스플레이가 가장 많이 보유하고 있는 것으로 나타났다.
15일 특허청에 따르면 산화물 TFT 기술 관련 특허는 2006년 이전 30여건에 불과했으나 2007년부터 연간 60건 이상이 꾸준히 출원되고 있는 것으로 조사됐다. 2003년도 이후 누적출원 건수는 총 597건으로 내국인 출원이 407건(68%), 외국인 출원이 190건(32%)을 차지한다.
산화물 TFT는 기존 비정질실리콘(a-Si) 보다 전자 이동도가 10~30배 높아 대화면 고속 구동이 가능해 해상도를 높이고 전력소모를 줄일 수 있는 장점이 있다. 또 불투명한 실리콘을 대체하는 산화물 반도체가 개발되면서 투명 TFT 제작도 가능해졌다. 애플은 지난 4월 산화물 TFT를 적용한 뉴아이패드를 출시하기도 했다.
관련 특허는 삼성디스플레이로 통합 출범한 삼성디스플레이와 삼성전자(특허 출원 시점 기준)가 170건으로 가장 많이 보유하고 있는 것으로 나타났다.
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2003년도 이후 출원 건수를 출원인별로 살펴보면 LG디스플레이 106건(18%), 삼성전자 91건(15%), 한도오따이 에네루기 켄큐쇼(일본 반도체 에너지 연구소) 85건(14%), 삼성디스플레이 79건(13%), 한국전자통신연구원 21건(4%), 캐논 19건(3%), 이데미츠코산 18건(3%), 후지필름 16건(3%), LG전자 13건(2%) 등이다.
특허청 관계자는 “고해상도 고속구동 제품에서 산화물 TFT를 이용한 디스플레이에 대한 요구는 더욱 증대할 것으로 예상된다”면서 “산화물 TFT에 대한 연구개발과 함께 이를 법적으로 보호할 특허를 확보해야 하는 한편 본격적인 양산을 준비하기 위한 상용화 기술 개발 노력도 필요하다”고 말했다.
