ATS, 12세대 LCD 장비 부품 국산화 성공

진공 장비 전문 기업 ATS엔지니어링(대표 김경수)이 세계 최초로 11세대 이상 LCD, 태양광 장비 진공 게이트 밸브의 개발을 완료하고 국내 장비기업에 시험 공급했다고 29일 밝혔다.

진공 게이트 밸브는 LCD, OLED, 태양광패널 주요생산공정인 식각, 증착 진공 챔버 밀폐문이다. 진공 게이트 밸브는 공정의 안정성을 위해 밀폐성, 내화학성, 내플라즈마성이 높아야 한다. 미세공정에 부응하기 위해 구동 중 미세먼지 생성은 억제돼야 한다.

특히 초대면적화가 요구되고 있는 LCD 패널 업체 수요에 대응키 위해 초대형(4000mm) 크기의 문이 10초 이내의 빠른 속도로 열리고 닫혀야 해 높은 기술수준이 요구된다. 지금까지 진공게이트밸브는 대부분 일본, 스위스 등 해외 제품을 수입했다. 2005년 ATS엔지니어링이 7세대 게이트밸브 국산화 성공과 함께 국내외 주요 장비기업에 경쟁력 있는 가격에 공급할 수 있게 됐다.

ATS엔지니어링은 계속 대형화되고 있는 진공장비시장에 향후 5년이상 대응할 수 있는 초대형사이즈 게이트 밸브를 개발 완료해 외국 주요 경쟁사와 차별해 시장을 선점한다는 계획이다.

김경수 ATS엔지니어링 대표는 “이번 초대형 진공 게이트 밸브 개발을 바탕으로 내년부터 LCD, OLED, 태양광으로 적용 범위를 확대할 계획”이라며 “합리적인 가격과 빠른 고객 서비스로 전방산업의 부품국산화에 일조하겠다”고 말했다.

LCD 진공장비 중 진공게이트밸브 세계 시장규모는 올해 7천50만달러(약775억원)에 달하며 매년 4%이상 성장할 것으로 보인다. 이중 국내 시장규모는 3천350만달러(약 370억원)로 전세계 시장의 약 48%를 점유할 것으로 추정된다.