TFT-LCD 및 반도체 장비 업체 탑엔지니어링이 발광다이오드(LED) 장비 및 소재사업에 본격 진출한다.
탑엔지니어링은 미국 LED 장비업체인 비엠알(BMR)의 씬필름(Thin Film) 관련 사업을 인수하고 플라즈마화학증착장비(PECVD), 건식식각장비(드라이에처) 등 LED 장비 시장 공략에 나서기로 했다고 30일 발표했다.
플라즈마화학증착장비는 LED 기판 위에 분자 또는 원자 단위 물질을 박막 형태로 형성하는 전공정 핵심장비다. 건식식각장비는 LED 기판을 에칭해 패턴을 형성함으로써 효율을 향상시키는데 사용된다.
탑엔지니어링은 LED 장비사업과 함께 LED 소재사업에도 진출한다. 탑엔지니어링은 LED 장비 및 소재사업과 함께 LCD 디스펜서, 글라스커팅시스템(GCS), 어레이테스터(Array Tester) 등 기존 LCD 장비사업도 지속적으로 추진할 계획이다.
