비씨엔씨, 램리서치 디자인 2건 무효화 재도전...특허법원에 항소

특허심판원은 유효 판단...윌비에스엔티, 램리서치 특허 무효화 실패

세계 식각장비 1위 램리서치와 반도체 공정 에지 링 디자인·특허 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 재도전한다. 특허심판원은 지난 5월 램리서치의 디자인 2건이 유효하다고 판단한 바 있다. 

6일 업계에 따르면 비씨엔씨는 램리서치의 '반도체 제조장치용 에지 링' 디자인 2건(등록번호 1026248·1026250)이 유효라고 판단한 지난 5월 특허심판원 결정(심결)에 불복하고, 지난 7월 하순과 이달 초순 해당 디자인 2건 심결에 대해 차례로 특허법원에 심결취소소송을 접수했다. 

(사진=비씨엔씨)

링은 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다. 

비씨엔씨는 램리서치와 서울중앙지방법원에서 디자인침해소송도 진행 중이다. 원고는 램리서치, 피고는 비씨엔씨다. 해당 소송 판결은 다음주 나올 예정이다. 

비씨엔씨가 이번에 특허법원에 제기한 심결취소소송 2건에서 앞선 특허심판원 판단을 뒤집지 못하면, 비씨엔씨는 해당 디자인 2건을 침해하지 않았다는 판결을 받아야 한다. 

비씨엔씨는 램리서치 에지 링 관련 특허 3건을 상대로도 분쟁 중이다. 비씨엔씨가 램리서치의 특허 3건에 대해 특허심판원에 청구했던 무효심판 중 2건(등록번호 2182298·2254224)은 무효, 1건(등록번호 2646633)은 유효로 판단됐다. 이들 심결에 대해 램리서치와 비씨엔씨는 각각 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

두 업체가 다투고 있는 램리서치의 특허와 디자인 가운데, 특허가 최종 무효가 되더라도 디자인이 유효라는 최종 판결, 그리고 비씨엔씨가 해당 디자인을 침해했다는 판결이 나오면 비씨엔씨는 제품을 다시 설계해야 할 수 있다. 비씨엔씨 사업에 미칠 영향은 분쟁 대상 품목이 비씨엔씨 전체 링 매출에서 차지하는 비중에 비례한다. 

램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 국내 애프터마켓 업체를 상대로 특허 등 산업재산권 분쟁 중이다. 비씨엔씨 외에 CMTX(씨엠티엑스), SHM, 플라텍, 윌비에스엔티, 월덱스 등이 램리서치와 싸우고 있다.

윌비에스엔티가 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)를 상대로 청구했던 무효심판은 최근 유효로 판단됐다. 윌비에스엔티는 해당 심결에 대해 심결취소소송을 제기할 수 있다. 같은 특허에 대해 플라텍도 무효심판을 청구했지만 지난 4월 기각(유효)됐다. 플라텍은 지난 5월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다.