HPSP-예스티 '고압수소어닐링' 특허분쟁, 6월 특허법원서 판가름

특허법원, 15일 핵심 특허 1건 변론 종결

HPSP와 예스티의 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허분쟁에서 핵심 특허 1건에 대한 특허법원 판단이 6월 나온다. 양측이 다투고 있는 HPSP 특허는 모두 6건이지만, HPSP가 지난 2023년 예스티를 상대로 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허 1건에 대한 판단이 나오면 전체 분쟁은 한쪽으로 크게 기울 수 있다. 

15일 특허법원 재판부는 HPSP와 예스티가 각각 제기한 심결취소소송 3건 변론기일에서 "3건 모두 6월 선고하겠다"고 밝혔다. 

이날 양측이 다툰 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027)다. 예스티는 앞서 특허심판원에 이 특허에 대해 무효심판과 소극적 권리범위확인심판을 각각 청구했다. 무효심판은 특허가 무효라고 주장하는 것이고, 소극적 권리범위확인심판은 특허를 침해하지 않았다고 주장하는 것이다. 

특허심판원은 무효심판에선 특허권자인 HPSP 손을 들어줬고, 소극적 권리범위확인심판에선 청구인인 예스티 손을 들어줬다. 특허심판원의 무효심판 판단에 대해선 예스티가 불복했고, 소극적 권리범위확인심판 판단에 대해선 HPSP가 불복하며 특허법원에 심결취소소송 3건이 접수됐다. 

특허법원 (사진=지디넷코리아)

심결취소소송 기간 중 HPSP는 특허심판원에 해당 특허 정정심판을 청구했다. 정정심판은 특허가 무효가 될 위기에 처했을 때, 특허권자가 권리범위를 좁히기(한정하기) 위해 사용한다. 특허심판원이 지난 2월 HPSP의 특허 정정 주장을 받아들였고, 예스티는 불복하지 않았다. HPSP의 특허 정정이 최종 확정됐다.

이 때문에 무효심판에 대한 심결취소소송에선 정정 후 특허를 대상으로 양측이 변론했다. 하지만, 소극적 권리범위확인심판에 대한 심결취소소송에선 HPSP는 정정 이전 특허 권리범위를, 예스티는 정정 이후 특허 권리범위를 대상으로 판단해야 한다고 맞섰다. 이날 특허법원 재판부는 양측에 각자 주장을 뒷받침하는 판례 등을 이후 제출하라고 밝혔다. 

변론 중 HPSP가 준비서면에서 "삼성전자와 SK하이닉스, TSMC 등 유수 기업에 장비를 납품하고 있으므로, 이 사건 특허발명이 원고(HPSP)의 고압 수소 어닐링 장비 경쟁력에 기여했고, 이를 통해 기술력을 인정받았다"고 주장했다는 내용도 소개됐다. 

한편, 예스티는 HPSP가 첫번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허 1건 외에, HPSP의 특허 5건을 상대로도 특허심판원에 무효심판과 소극적 권리범위확인심판 등을 청구했다. 예스티는 HPSP의 특허 공격 가능성이 있다고 판단한 특허 5건에 대해 선제 대응한 것이었다. 특허 5건에 대한 분쟁에선 전체적으로 예스티가 앞선다. 

고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. HPSP는 이 분야를 독점해왔지만, 지난해 12월 예스티가 2026년 글로벌 반도체 업체 2곳에 고압수소어닐링 장비를 공급할 것이라고 밝히면서 HPSP 독점이 깨졌다.