에스앤에스텍, EUV 블랭크마스크·펠리클 국산화 양산 시동

1천억원 투자 용인 EUV 전용 센터 준공

블랭크마스크 전문 기업 에스앤에스텍은 경기도 용인 반도체 클러스터에 위치한 'EUV 전용 센터' 준공식을 개최했다고 15일 밝혔다.

해당 센터는 지난 2021년 7월 착공해, 연면적 1만809㎡에 지하 1층~지상 5층 규모로 조성됐다. 에스앤에스텍은 EUV 사업에 약 1천억원을 투자했다.

15일 경기도 용인 반도체 클러스트에서 열린 '용인 EUV 센터' 준공식에서 정수홍 에스앤에스텍 대표이사(왼쪽에서 여덟 번째)와 주요 관계자들이 기념 테이프 커팅을 하고 있다(사진=에스앤에스텍)

에스앤에스텍은 EUV 블랭크마스크와 펠리클의 안정적 생산과 고객 맞춤형 공급을 확대하고, 연구개발(R&D)과 양산을 유기적으로 연계해 기술 내재화와 글로벌 경쟁력 강화에 나설 계획이다.

특히 용인 거점 확보는 고객사와의 거리를 단축해 공급 안정성과 협력 효율성을 높이는 동시에 신규 고객 창출에 기여할 것으로 기대된다.

고객사와의 공동 개발 및 검증을 통해 외사 제품 대비 우수한 경쟁력을 확보했다고 회사측은 설명했다.

에스앤에스텍은 이미 대구공장에 있던 EUV용 블랭크마스크와 펠리클 양산시설을 이전 설치해 가동 중에 있다.

이번 용인 센터 준공으로 EUV 전용 생산 인프라까지 완성하며 그동안 일본 업체에서 독점해 왔던 EUV 제품 국산화로 수입 대체 효과도 기대된다.

에스앤에스텍은 본격적인 공급을 시작하면 확보된 기술력을 기반으로 EUV 라인의 추가 증설과 첨단 양산설비 구축을 단계적으로 추진해 안정적인 공급 역량을 지속적으로 확대할 계획이다.

정수홍 에스앤에스텍 대표는 "용인 EUV 센터는 국가 반도체 경쟁력 확보와 지역사회 기여를 동시에 실현하는 상징적 공간"이라며 "앞으로도 책임 있는 투자와 혁신을 통해 미래 성장을 선도하겠다"고 말했다.

EUV 용 블랭크마스크는 EUV 노광 공정에서 웨이퍼에 회로를 새기는 데 활용되는 패턴 마스크의 원판으로 나노미터 수준의 얇은 다층막(멀티 레이어) 위에 흡수체인 기반 합금을 다시 적층하는 과정을 거쳐 제작된다.

현재 EUV 용 블랭크마스크와 펠리클은 전량 수입에 의존하고 있다.